MT95-SM
Miniatur-Lineartische

Lineartisch 95 x 95 x 40 mm, Hub bis 40 mm, Repro 2.1 µm, Last 6 kg, Speed 11 mm/s
MT95-SM

 

Kompakter Positionierer mit innen liegendem Motor

Der Miniatur-Lineartisch MT95 erreicht mit Kreuzrollenführungen sehr gute Ablaufwerte. Der Antrieb wird mit einem Zahnriemengetriebe umgelenkt und kann so vollständig im Positioniertisch untergebracht werden.

  • Ideal für kleine Bauräume (95 x 95 x 40 mm)
  • Wiederholgenauigkeit bis 2.1 µm
  • Leicht stapelbar zu kompakten Mehrachssystemen

Optionen:

  • Erhältlich mit DC-Motor oder Schrittmotor
  • Kompaktes 3-Achs-Positioniersystem: MP95-3
  • Ausführung für Reinraum und Vakuum auf Anfrage

Anwendungsfelder

Positionierung in kleinen Bauräumen z.B. Inkubatoren, Faserpositionierung, Kamera- und Mikroskop-Positionierer, Aligner für Vakuum-Kammern, Aufbau von platzsparenden XYZ Mehrachssystemen, Manipulator für Industrie und Forschung, Kompakte Reinraum-Positioniersysteme, Wafer Prober Justage

 

MT95   -40-SM
Verfahrweg [mm]  40
Wiederholgenauigkeit unidirektional [µm] ± 2.1
Wiederholgenauigkeit bidirektional [µm] ± 4.1
Positioniergenauigkeit [µm] ± 5.4
Ebenheitsabweichung [µm] ± 2
Geradheitsabweichung [µm] ± 1.4
Positioniergeschwindigkeit [mm/s] 5.8
Max. Geschwindigkeit [mm/s] 11.6
Max. Beschleunigung [m/s2] 0.1
Max. Last Fx [N] 30
Max. Last Fy [N] 65
Max. Last Fz [N] 65
Max. Lastmoment Mx [Nm] 3.2
Max. Lastmoment My [Nm] 1.3
Max. Lastmoment Mz [Nm] 1.1
Nicken [µrad] ± 65
Gieren [µrad] ± 40
Länge [mm] 95
Breite [mm] 95
Höhe [mm] 40
Gewicht [kg] 0.8
Spindeltyp   Gleitgewindetrieb M8x0,5.8.64.84
Spindelsteigung   0.5
Führung   Kreuzrolle
Motor   Schrittmotor
Feedback   Open Loop
Material   Aluminium eloxiert
Zusatzausstattung   Hochauflösendes Messsystem, Erweiterung zum XYZ-R-System, Bremse, kundenspezifsche Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Varianten Reinraum    bis Reinraum Klasse ISO 5 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung    UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus    auf Anfrage
Varianten Vakuum    auf Anfrage

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden. Sprechen Sie uns an.

Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept

Ausführungen Reinraum, Strahlung und Vakuum

Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar und min. Reinraum Klasse ISO 6 - oder noch besser - verfügbar.

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