Wie auch Rotationsmesssysteme sind die einzelnen Inkremente auf einer Scheibe aufgebracht. Ein Lesekopf erfasst die einzelnen Inkremente und kann so die Bewegung der Positioniereinheit erfassen und verarbeiten. Der angeschlossene Controller ist damit in der Lage, den Tisch aktiv zu regeln. Auch bei diesem Messsystemtyp kommen optische wie induktive Messköpfe zum Einsatz.