Das Positioniersystem wird auf eine beliebige Position innerhalb des Verfahrwegs gefahren. Ein externes Messsystem (Laserinterinterferometer, Messtaster) erfasst diese Position. Das Positioniersystem verfährt während der Messung wiederholt, aus der gleichen Richtung kommend, auf diese Position. Das externe Messsystem misst wiederholt diese Position. Nach einer festgelegten Anzahl von Wiederholungen dieses Ablaufs steht eine Wertereihe von Messwerten dieser Position zur Verfügung, aus der die zweifache Standardabweichung berechnet wird. Dieser Wert entspricht der unidirektionalen Wiederholgenauigkeit an der jeweiligen Position im Verfahrweg.
Um zusätzliche Sicherheit bei der Angabe dieses Werts zu erhalten, wird die unidirektionale Wiederholgenauigkeit an mehreren Positionen im Verfahrweg ermittelt und der größte aufgetretene Wert als Kennwert des Positioniersystems angegeben.