Eine Vielzahl von Einflüssen wirkt auf die Genauigkeit. Am stärksten wird sich in den meisten Fällen eine Temperaturveränderung auswirken. Diese ist umso stärker, je länger das System ist und natürlich auch der Temperaturhub ist.
An zweiter Stelle finden sich regelmäßig die Einflüsse von Nicken und Gieren. Kein Tisch fährt wirklich ideal gerade, was bedeutet, dass immer ein gewisser Bogen gefahren wird. Je weiter das zu positionierende Objekt von der Führungsbahn bzw. vom Maßstab entfernt ist, desto stärker wird sich diese Bogenfahrt auswirken (Außenkurve ist länger als Innenkurve).
Erst an dritter Stelle finden sich Fehler im Messsystem, gefolgt von mechanischem Spiel und Reglerhysterese.