Der Unterschied zwischen tatsächlich gefahrener Strecke und gewünschter Strecke wird vermessen. Diese somit bekannte Abweichung kann in verschiedener Weise kompensiert werden.
Wird von den Messwerten lediglich der lineare Anteil abgezogen (Ausgleichsgerade) kann der Anstieg des Fehlers als einfacher Faktor im Controller hinterlegt werden. Diese sogenannte lineare Kompensation eignet sich insbesondere für Systeme, welche ohne Maßstab auskommen. Die Genauigkeit kann damit in der Regel bis zu einem Faktor von drei verbessert werden.
Sind die Abweichungen nicht linear, so lässt sich der positionsabhängig gemessene Fehler als polynomische Gleichung darstellen und im Controller hinterlegen. Das setzt die Fähigkeit des Controllers voraus, polynomische Gleichungen zu generieren und diese während des Positionierens mit dem Sollwert zu verrechnen.
Bietet der Controller diese Funktion, so kann auch eine Tabelle mit den positionsabhängigen Abweichungen gespeichert werden. Der Controller wird dann zwischen diesen Stützstellen interpolieren. Der Abstand der Stützstellen hängt von der gewünschten Genauigkeit und der spektralen Verteilung des Fehlers bezogen auf den Verfahrweg ab. Dieses Verfahren wird Korrekturtabelle oder Errormapping genannt.