Wie wird die Ebenheitsabweichung erfasst?
In den meisten Fällen wird ein Geradheitsnormal (z.B. poliertes Zerodur-Lineal) auf den Schlitten des Positioniersystems gelegt. Während das System verfährt wird mit einem senkrecht stehenden Messtaster die Oberfläche des Geradheitsnormals abgetastet. Bei besonders langen Verfahrwegen wird das Geradheitsnormal neben das Positioniersystem gelegt und der senkrecht angeordnete Messtaster mit dem Schlitten des Positioniersystems verfahren.
Das protokollierte Profil wird mit einer Ausgleichgerade anstiegskompensiert. Die Ebenheitsabweichung ist der halbe Spitzenwert des gemessenen, kompensierten Profils. Das reale Profil kann sowohl in positive Richtung als auch in negative Richtung von der idealen Gerade abweichen. Einbaulage und Lastveränderungen können Einfluss auf den Betrag der Ebenheitsabweichung haben.