MP53-3-PM
Vakuum / Reinraum kompakte Mehrachssysteme

Art. ID 212382

Hochauflösender Mikropositionierer

HV / UHV / EUV, 10 mm Verfahrweg, 0.2 µm Wiederholgenauigkeit, 0.5 kg Last

Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV

Schmierung flüssig bis 10^-8 / trocken bis 10^-11 mbar

Max. Ausheiztemperatur: 120°C

Optional konfigurierbar:

Verfügbar als magnetische, magnetarme und magnetfreie Ausführung
Wahlweise mit hochauflösenden Messsystem für Wiederholgenauigkeiten bis zu 0.005 µm
Kombinierbar mit Drehtischen für rotatorische Anwendungen
Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer
Ausführung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
Optional mit Controller FMC400/450

Miniaturisierter XYZ Manipulator für anspruchsvolle Anwendungen

Der Manipulator MP53 ist ein miniaturisiertes 3-Achssystem für die X-, Y- und Z-Bewegung auf sehr begrenzten Bauraum. Es werden Stellwege von 10 mm realisiert. Der Manipulator ist mit Piezomotoren ausgerüstet und kann somit Stellinkremente von wenigen Nanometern für hochpräzise Anwendungen im Hochvakuum und Ultrahochvakuum realisieren.

Anwendungsbereiche

Präzisionspositionierung auf kleinsten Bauraum für Laboranwendungen, Mikroskopie und Halbleitertechnik, Forschung im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, Probenvorbereitung, Probenscan, Probenhandling, Kamerajustage, Sensorjustage, Materialforschung, Materialanalyse, Beamline, Beschleuniger, Synchrotron, Miniaturisierung

Spezifikationen

MP-53-3			-10-PM-L
Verfahrweg	[mm]		10
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm]		± 0.2
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm]		± 0.3
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s]		5
Max. Last F_x	[N]		5
Max. Last F_y	[N]		5
Max. Last F_z	[N]		5
Motor			Piezo Motor
Feedback			Linearmessystem
Führung		Kreuzrolle Edelstahl, hybrid, optional Vollkeramik
Länge	[mm]	90
Breite	[mm]	55
Höhe	[mm]	60
Vakuum	[mbar]	bis 10^-11HV/UHV/EUV
Schmierung flüssig	[mbar]	bis 10^-8
Schmierung trocken	[mbar]	bis 10^-11
Max. Ausheiztemperatur	[deg]	120
Magnetismus Varianten		magnetisch \| magnetarm \| magnetfrei

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.