MP105-3
Vakuum / Reinraum kompakte Mehrachssysteme

782300:206.26

Schneller, präziser Mikropositionierer

HV / UHV / EUV, 20 - 50 mm Verfahrweg, 0.2 µm Wiederholgenauigkeit, 1 kg Last

Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV

Schmierung flüssig bis 10^-8 / trocken bis 10^-11 mbar

Max. Ausheiztemperatur: 120°C

Optional konfigurierbar:

Verfügbar als magnetische, magnetarme und magnetfreie Ausführung
Verschienene Motorvarianten: Piezomotor oder Nanomotion
Wahlweise mit hochauflösenden Messsystem für Wiederholgenauigkeiten bis zu 0.005 µm
Kombinierbar mit Drehtischen für rotatorische Anwendungen
Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer
Ausführung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
Optional mit Controller FMC400/450

Miniaturisierter XYZ Manipulator für hochpräzise oder dynamische Anwendungen

Der Manipulator ist ein hochdynamisches 3-Achssystem für die X-, Y- und Z-Bewegung auf sehr begrenzten Bauraum. Es werden Stellwege bis 50 mm realisiert. Der Manipulator ist mit Piezomotoren ausgerüstet und kann somit Stellinkremente von wenigen Nanometern für hochpräzise Anwendungen im Hochvakuum und Ultrahochvakuum realisieren. Wahlweise ausgestattet mit einem Nanomotion, eignet er sich insbesondere für hochdynamische und hochpräzise Positionierungen.

Anwendungsbereiche

Präzisionspositionierung auf kleinsten Bauraum für Laboranwendungen, Mikroskopie und Halbleitertechnik, Forschung im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, Probenvorbereitung, Probenscan, Probenhandling, Kamerajustage, Sensorjustage, Materialforschung, Materialanalyse, Beamline, Beschleuniger, Synchrotron, Miniaturisierung

Spezifikationen

MP105-3		-50-50-50-PM-L	-50-50-20-2PM-L	-50-50-50-LM-L	-50-50-20-2LM-L
Verfahrweg X	[mm]	50	50	50	50
Verfahrweg Y	[mm]	50	50	50	50
Verfahrweg Z	[mm]	50	20	50	20
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm]	± 0.2	± 0.2	± 0.4	± 0.4
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm]	± 0.3	± 0.3	± 0.5	± 0.5
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s]	5	5	50	20
Max. Last Fx	[N]	5	5	5	5
Max. Last Fy	[N]	5	5	5	5
Max. Last Fz	[N]	5	10	5	10
Feedback		Linearmesssystem	Linearmesssystem	Linearmesssystem	Linearmesssystem
Motor		Piezo Motor	Piezo Motor	Nanomotion	Nanomotion
Führung		Kreuzrolle Edelstahl, hybrid, optional Vollkeramik
Länge	[mm]	155
Breite	[mm]	155
Höhe	[mm]	195
Vakuum	[mbar]	bis 10^-11HV/UHV/EUV
Schmierung flüssig	[mbar]	up to 10^-8
Schmierung trocken	[mbar]	bis 10^-11
Max. Ausheiztemperatur	[deg]	120
Magnetismus Varianten		magnetisch \| magnetarm \| magnetfrei

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.