YZ Tracking Stage
Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme
782475:017.26
YZ-System mit Piezobremse (UHV)
Dieses 3-Achs-System ist trockenlaufend, verfügt über eine Piezobremse sowie Gleitgewinde und Schrittmotor. Für die Überwachung der Position ist ein Messsystem integriert. Die Achsen, bestehens aus den Standard-Achsen LA95 und LA105 sind HV / UHV tauglich und ausgelegt bis Reinraum Klasse ISO 6.
Noch mehr Achsen für Ihre Vakuumanwendungen?
Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10-6 mbar - oder noch besser - verfügbar. Klicken Sie hier für die Übersicht über unsere Standardachsen!
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