YZ Tracking Stage
Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme

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YZ-System mit Piezobremse (UHV)

Dieses 3-Achs-System ist trockenlaufend, verfügt über eine Piezobremse sowie Gleitgewinde und Schrittmotor. Für die Überwachung der Position ist ein Messsystem integriert. Die Achsen, bestehens aus den Standard-Achsen LA95 und LA105 sind HV / UHV tauglich und ausgelegt bis Reinraum Klasse ISO 6.

Passende Controller

FMC 250/280

Mehrachscontroller mit erhöhtem Strom und Spannung für Punkt–zu-Punkt Positionierung.

FMC400/450

Voll bahnfähiger Mehrachscontroller, einfaches Erstellen von eigenen Programmen.

SPS

Wir unterstützen die Anbindung unserer Systeme an SPS-Architekturen z.B. Beckhoff

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