XYZ Transfer Stage
Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme

782475:053.26, 782475:039.26, 782475:001.26

Schnelles 3-Achs-UHV-System LA80-LA90

UV / UHV / EUV, max. 500 mm Verfahrweg, 2 µm Wiederholgenauigkeit, 5 kg Last

Diese schnelle Transferachse eignet sich für präzise, schnelle und langlebige Anwendungen in Ultrahochvakuum. Auch werden wegen der sehr niedrigen Ausgasung und Partikelarmut die Anforderungen an einen Einsatz unter extrem ultravioletter Strahlung erfüllt. Die Achsen sind in den Größen LA80, LA95, LA170 erhältlich und für Lasten bis 20 kg im Vertikalbetrieb ausgelegt. Diese Achskombination entstand im Rahmen des “tOMography Nano crYo (OMNY)” mit dem Paul Scherrer Institut (PSI).

Präzise, schnell und langlebig im Ultrahochvakuum

Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis 10^-11 mbar

Schmierung flüssig bis 10^-8 / trocken bis 10^-11 mbar

Lebensdauer im Kilometerbereich ohne Flüssigschmierung

Max. Ausheiztemperatur: 120°C

Verfügbar als magnetische Ausführung

Optionen:

Verfahrwege spezifisch anpassbar auf Ihre Anwendung bis 510 x 80 x 80 mm
Ohne Feedback als reines Schrittmotorsystem bis 5 µm Wiederholgenauigkeit
Überragender Stillstand im Nanometerbereich durch zusätzliche Piezo-Zangenbremsen in Z und Y
Kugelgewindetrieb in Z und Y für höhere Geschwindigkeiten und Lebensdauer bei Schmierung
Ausführungen für Reinraum ISO 14644-1 Klasse 4 (bis Klasse 1 auf Anfrage)

Anwendungsfelder

Transportsysteme im Ultrahochvakuum, Vakuumanwendungen mit Trockenschmierung, Transfersysteme, Vakuum Feinversteller, EUV Lithografie, Strahlformung für Belichtungsprozesse, Oberflächenanalyse, Sensorpositionierung, Massenspektrometrie, Beschichtungsprozesse, Schichtdicken- und Schichtratenmessungen, Grundlagenforschung, Labortechnik, Analytik

Referenzen

OMNY—A tOMography Nano crYo stage | Review of Scientific Instruments 89, 043706 (2018) | https://doi.org/10.1063/1.5020247

Spezifikationen

782475:001.26		X	Y	Z
Verfahrweg	[mm]	510	40	80
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm]	± 0.4	± 0.4	± 0.4
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm]	± 0.5	± 0.5	± 0.5
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s]	50	4	4
Max. Last	[N]	30	30	30
Feedback		Linearmesssystem	Linearmesssystem	Linearmesssystem
Motor		Schrittmotor	Schrittmotor	Schrittmotor
Führung		Kreuzrolle Edelstahl, hybrid
Länge	[mm]	706
Breite	[mm]	357
Höhe	[mm]	260
Vakuum	[mbar]	bis 10^-11HV/UHV/EUV
Schmierung flüssig	[mbar]	bis zu 10^-8
Schmierung trocken	[mbar]	bis 10^-11
Max. Ausheiztemperatur	[deg]	120
Magnetismus Varianten		magnetisch \| magnetarm \| magnetfrei

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.