2LA95-LA105 (OSA)
Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme

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XYZ-System mit Piezobremse (UHV)

Dieses 3-Achs-System mit Verfahrwegen von 5 x 20 x 10 mm ist für Lasten bis 2 kg ausgelegt. Das System ist trockenlaufend, verfügt über eine Piezobremse sowie Gleitgewinde und Schrittmotor. Für die Überwachung der Position ist ein Messsystem integriert. Es eignet sich idealerweise für Anwendungen in der Optik unter Laborbedingungen im Vakuum bis 10E-9 mbar.

 

782475:004.26   X Y Z
Standard System   LA95 LA95 LA105
Verfahrweg [mm]  10 5 20
Positioniergeschwindigkeit [mm/s] 25 10 25
Max. Geschwindigkeit [mm/s] 50 20 50
Gewicht [kg] 7

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.


Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept

Noch mehr Achsen für Ihre Vakuumanwendungen?

Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10-6 mbar - oder noch besser - verfügbar. Klicken Sie hier für die Übersicht über unsere Standardachsen!

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