UHV Probenfixierung
Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme

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Um den Probenmanipulator beim Wechseln der Proben nicht zu beschädigen, wurde dieser Probenhalter konstruiert. Hier treiben 12 Piezomotoren eine Keramikscheibe an, welche eine Spindel mit 2-gängigem Gewinde und Carbonbeschichtung nach unten bewegt.

 


Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept

Noch mehr Achsen für Ihre Vakuumanwendungen?

Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10-6 mbar - oder noch besser - verfügbar. Klicken Sie hier für die Übersicht über unsere Standardachsen!

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