UHV Probenfixierung
Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme
782442:002.26
Um den Probenmanipulator beim Wechseln der Proben nicht zu beschädigen, wurde dieser Probenhalter konstruiert. Hier treiben 12 Piezomotoren eine Keramikscheibe an, welche eine Spindel mit 2-gängigem Gewinde und Carbonbeschichtung nach unten bewegt.
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Elger Matthes
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