3LA170
Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme

782475:030.26

Schwerlast XYZ-System (UHV)

3-Achs-Manipulator für Lasten bis 20 kg im Vakuum. Schrittmotorantrieb mit Gleitgewindespindeln und Messsystemen zur Positionsüberwachung.

Spezifikationen

782475:030.26		X	Y	Z
Standard System		LA170-060	LA170-130	LA200-100
Verfahrweg	[mm]	60	130	100
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm]	± 0.4	± 0.4	± 0.4
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm]	±0.5	± 0.5	± 0.5
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s]	5	5	5
Max. Geschwindigkeit	[mm/s]	10	10	10
Max. Last	[N]	196	196	196
Länge x Breite x Höhe	[mm]	405 x 280 x 365
Schmierung flüssig	[mbar]	bis 10^-8
Schmierung trocken	[mbar]	bis 10^-11
Max. Ausheiztemperatur	[deg]	120
Antrieb		Gleitgewindetrieb
Motor		Schrittmotor
Führung		Kreuzrolle Edelstahl, hybrid
Feedback		Linearmesssystem
Auflösung Messsystem		0.1 µm, optional 0.001 µm
Optionale Zusatzausstattung		mit und ohne Messsystem, Gleitgewindetrieb mit Trockenschmierung oder Kugelgewindetrieb mit Flüssigschmierung, Stabilisierung mit Piezobremse, kundenspezifsche flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Varianten Reinraum		bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung		UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus		magnetisch
Varianten Vakuum		alle Bereiche bis 10E-11 mbar HV / UHV

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.