6-Achs-Probenaligner
Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme

782442:001.26

XYZ-Rx-Ry-Rz-Aligner (RICXS-Experiment), UHV / EUV / Röntgen, ISO 6, 12 Piezo-Motoren

Hier arbeiten 12 Piezomotoren in Paaren und realisieren einen kartesischen Probenmanipulator mit 6 Freiheitsgraden. Als Sensoren kommen kapazitive Systeme zur Anwendung. Die Piezoaktoren wirken auf Keramikstäbe, welche in gespannten Seilen hängen. Stellinkremente im Nanometer-Bereich wurden realisiert.

Spezifikationen

782442:001.26		X	Y	Z	Rx	Ry	Rz
Verfahrweg	[mm; deg]	5	5	5	2	2	0.5
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm; deg]	20	20	20	0.000007	0.000007	0.000002
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm; deg]	35	35	35	0.00001	0.00001	0.00003
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s; deg/s]	1	1	1	1	1	0.5
Max. Geschwindigkeit	[mm/s; deg/s]	2	2	2	2	2	1
Max. Last	[N]	1
Länge x Breite x Höhe	[mm]	500 x 250 x 300
Gewicht	[kg]	7.7
Schmierung flüssig	[mbar]	minimal, bis 10^-8
Schmierung trocken	[mbar]	bis 10^-8
Max. Ausheiztemperatur	[deg]	80
Antrieb		Seil
Motor		Piezo Motor
Feedback		Kapazitiver Sensor
Varianten Reinraum		bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung		UV, DUV, EUV, Röntgen (Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus		magnetisch, magnetarm, magnetfrei
Varianten Vakuum		alle Bereiche bis 10E-8 mbar Hochvakuum (HV) / Ultrahochvakuum (UHV)

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.