Ein UHV 3-Achs-System in magnetfreier Ausführung. Die Verfahrwege liegen bei 200 mm für die X-Bewegung und je 10 mm für die Y- und Z-Bewegung (vertikal). Die verwendeten Piezomotoren sind eine Sonderentwicklung und erlauben es mit diesem Manipulatur Lasten bis zu 2,5 kg zu positionieren. Eine Besonderheit ist die hervorragende Stabilität nach der Bewegung im Nanometerbereich.