XYZ Stahl Aligner
Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme

782300:087.26

UHV / DUV / EUV, Reinraum ISO 6, Hub 5 x 10 x 5 mm, Repro 0.2 µm, Last 0.5 kg

Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)

Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV, Schmierung flüssig bis 10^-8 / trocken bis 10^-11 mbar

Max. Ausheiztemperatur: 120°C

Optionen:

Verfügbar als magnetische, magnetarme und magnetfreie Ausführung
Kombinierbar mit Drehtischen für rotatorische Anwendungen
Ausführung für Reinraum, Vakuum und Strahlung
Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion
Optional mit Controller

Transfer mit Submikometerschrittweiten auf kleinsten Bauraum

Diese Baugruppe basiert auf einem Mikrotisch MT53 mit Piezoantrieb. Zwei dieser Tische bilden den ZX-Antrieb. Getrennt davon ist im gleichen Rohr der Y-Antrieb untergebracht. Der Aufbau erlaubt damit einen hochkompakte Positionierung von Probem unter extremer Strahlung im enorm gerrringen Bauraum.

Ausgestattet ist der MT53 mit Kreuzrollenführungen und einem Piezoantrieb, welcher Schrittweiten im Nanometerbereich auf sehr begrenzten Bauraum ermöglicht. Es werden Stellwege von 10 mm realisiert. Wiederholgenauigkeiten von +- 0.005 µm sind mit entsprechendem Linearmesssystem möglich.

Anwendungsbereiche

Präzisionspositionierung auf kleinsten Bauraum für Laboranwendungen, Forschung im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, 3-Achs-Strahljustage, Probenvorbereitung, Probenscan, Probenhandling, Materialforschung, Materialanalyse, Synchrotron, Miniaturisierung

Spezifikationen

782300:087.26		X	Y	Z
Standard System		MT53-5-PM	MT53-10-PM	MT53-5-PM
Verfahrweg	[mm]	5	10	5
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm]	± 0.2	± 0.2	± 0.2
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm]	± 0.3	± 0.3	± 0.3
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s]	5	5	5
Max. Geschwindigkeit	[mm/s]	10	10	10
Max. Last Fx	[N]	5	5	5
Max. Last Fy	[N]	8.8	8.8	8.8
Max. Last Fz	[N]	8.8	8.8	8.8
Länge	[mm]	195
Breite	[mm]	75
Höhe	[mm]	70
Schmierung flüssig	[mbar]	bis 10^-8
Schmierung trocken	[mbar]	bis 10^-11
Max. Ausheiztemperatur	[deg]	120
Motor		Piezo Motor
Führung		Kreuzrolle Edelstahl, hybrid, optional Vollkeramik
Feedback		Linearmesssystem
Auflösung Messsystem		0.1 µm, optional bis zu 0.005 µm
Optionale Zusatzausstattung		kundenspezifsche flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Varianten Reinraum		bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung		UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus		magnetisch, magnetarm, magnetfrei
Varianten Vakuum		alle Bereiche bis 10E-11 mbar HV / UHV

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.