Koaxial Drehtisch mit zwei Rotationen und Längsbewegung (UHV)

Diese exotische UHV-Baugruppe kombiniert zwei Drehungen mit koaxialen Achsen, welche in Achsrichtung herausgefahren werden können. Antriebe sind Nanomotion-Motoren.

Die Einheit wurde für den Einsatz in Ausrüstungen für die Elektronenstrahl-Lithographie konzipiert und ausgeführt. Die Baugruppe ist für eine Umgebung von 10^-7 Torr (ca. 10^{-5 Pa}) ausgelegt. Um permanent- und elektromagnetische Einflüsse auf den Ionenstrahl gering zu halten wurden geeignete magnetfreie Materialen eingesetzt.