Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme

In unserem Repertoire finden Sie komplexe EUV Halbleitersysteme, Experimentalsysteme und Kombinationen von Standardachsen als Mehrachsmanipulatoren. Die hier gezeigten Systeme stehen als Beispiele für denkbare Kombinationen unserer Reinraum- und Vakuumsysteme.

XYZ Transfer Stage

XYZ Transfer Stage
Schnelles 3-Achs-UHV-System LA80-LA90 UV / UHV / EUV, max. 500 mm Verfahrweg, 2 µm Wiederholgenauigkeit, 5...

YZ Tracking Stage

YZ Tracking Stage - Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme
YZ-System mit Piezobremse (UHV) Dieses 3-Achs-System ist trockenlaufend, verfügt über eine Piezobremse sowie...

3LA170

3LA170
Schwerlast XYZ-System (UHV) 3-Achs-Manipulator für Lasten bis 20 kg im Vakuum. Schrittmotorantrieb mit...

2LA95-LA105 (OSA)

2LA95-LA105 (OSA) - Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme
XYZ-System mit Piezobremse (UHV) Dieses 3-Achs-System mit Verfahrwegen von 5 x 20 x 10 mm ist für Lasten bis...

Kameramanipulator

Kameramanipulator (RICXS-Experiment)
Vakuum-Mehrachssystem 1 Tesla bei 10E-8 mbar (UHV), harte Röntgenstrahlung, 42 Piezomotoren...

XYZ Stahl Aligner

XYZ Stahl Aligner
UHV / DUV / EUV, Reinraum ISO 6, Hub 5 x 10 x 5 mm, Repro 0.2 µm, Last 0.5 kg Reinraum:...

6-Achs-Probenaligner

6-Achs-Probenaligner
XYZ-Rx-Ry-Rz-Aligner (RICXS-Experiment), UHV / EUV / Röntgen, ISO 6, 12 Piezo-Motoren Hier arbeiten 12...

UHV Probenfixierung

UHV Probenfixierung
Um den Probenmanipulator beim Wechseln der Proben nicht zu beschädigen, wurde dieser Probenhalter...

LA97-2MT85

LA97-2MT85 - Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme
Ein UHV 3-Achs-System in magnetfreier Ausführung. Die Verfahrwege liegen bei 200 mm für die X-Bewegung und...

PLT240-2HT160

PLT240-2HT160
Linearachse mit zwei Hubeinheiten Eine Linearachse PLT240 mit Kugelgewindetrieb und Vakuum-Schrittmotor ist...

3LT300

3LT300 - Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme
XYZ-Manipulator Dieser 3-Achs-Manipulator ist für das Ultrahochvakuum konzipiert. Er verfügt über...

2DT150 Koaxial

2DT150 Koaxial - Vakuum / Reinraum Mehrachssysteme
Koaxial Drehtisch mit zwei Rotationen und Längsbewegung (UHV) Diese exotische UHV-Baugruppe kombiniert zwei...

2PLT240-HT160

2PLT240-HT160
XYZ-System für Hochvakuum Das Stellsystem basiert auf den Industrietischen PLT240 und einem Hubtisch HT160 ...

UHV Versteller

UHV Versteller
UHV Spiegelversteller für Beam Line Kippmechanismus mit Rückstellfeder Dies UHV-Einheit wird von außen mit...

Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept

Noch mehr Achsen für Ihre Vakuumanwendungen?

Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10-6 mbar - oder noch besser - verfügbar. Klicken Sie hier für die Übersicht über unsere Standardachsen!

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