MT85-PM
Vakuum / Reinraum Linearachsen und Lineartische

782457:006.24

Präzisions-Miniatur-Lineartisch

114 x 97 x 28 mm, UHV / DUV / EUV, ISO 6, Hub 25 - 50 mm, Repro 0.2 µm, Last 1.5 kg, Speed 5 mm/s

Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)

Vakuum: alle Bereiche HV / UHV

Strahlung: UV / DUV / EUV

Schmierung: flüssig bis 10^-8 / trocken bis 10^-11 mbar

Max. Ausheiztemperatur: 140°C

Optionen:

Stapelbar zum kompakten 3-Achs-Positioniersystem
Magnetismus: magnetisch, magnetarm, magnetfrei
Mit bis zu 2 Motoren für doppelte Last
EUV-Schmierung, flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung
Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion

Anwendungsfelder

Positionierung in kleinen Bauräumen im EUV-Reinraum z.B. Kamera, Mikroskop / Sensor (AFM, WLI), Aufbau von platzsparenden XYZ Mehrachssystemen, Manipulator für Industrie und Forschung, Kompakte Reinraum-Positioniersysteme, Halbeiterjustage

Spezifikationen

MT85		-2PM-25-L	-1PM-50-L
Verfahrweg	[mm]	25	50
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm]	± 0.2	± 0.2
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm]	± 0.3	± 0.3
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s]	2.5	2.5
Max. Geschwindigkeit	[mm/s]	5	5
Max. Last Fx	[N]	12	6
Max. Last Fy	[N]	15	15
Max. Last Fz	[N]	15	15
Länge	[mm]	114
Breite	[mm]	97
Höhe	[mm]	28
Gewicht	[kg]	0.6
Schmierung flüssig	[mbar]	bis 10^-8
Schmierung trocken	[mbar]	bis 10^-11
Max. Ausheiztemperatur	[deg]	140
Motor		Piezo Motor
Führung		Keramikführungen mit Keramikkugeln, optional Edelstahl hybrid
Feedback		Linearmesssystem
Auflösung Messsystem		0.005 µm
Optionale Zusatzausstattung		mit bis zu 2 Motoren für doppelte Last, kundenspezifsche flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Varianten Reinraum		bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung		UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus		magnetisch, magnetarm, magnetfrei
Varianten Vakuum		alle Bereiche bis 10E-11 mbar HV / UHV

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.