MT130
Vakuum / Reinraum Linearachsen und Lineartische

782327:084.26

EUV Miniatur Lineartisch

155 x 130 x 43 mm, UHV / DUV / EUV, ISO 5, Hub bis 50 mm, Repro 2.3 µm, Last 9 kg, Speed 40 mm/s

Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 5 (höher auf Anfrage)

Vakuum: alle Bereiche HV / UHV

Strahlung: EUV, DUV, UV

Schmierung flüssig bis 10^-8 / trocken bis 10^-11 mbar

Max. Ausheiztemperatur: 120°C

Optionen:

Stapelbar zum kompakten 3-Achs-Positioniersystem: MP130-3
Kombinierbar mit dem Drehtisch DT130
Verfahrwege bis 80 mm
Hochauflösendes Messsystem
EUV-Schmierung, flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung
Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion

Kompakte EUV Linearachse mit innen liegendem Motor

Der Miniatur-Lineartisch erreicht mit spielfreien Kreuzrollenführungen sehr gute Ablaufwerte. Der Antrieb ist vollständig im hochkompakten Positioniersystem untergebracht. Zudem verfügt das Positioniersystem über eine Permanent-Magnetbremse.

Anwendungsfelder

Positionierung in kleinen Bauräumen im EUV-Reinraum z.B. Kamera, Mikroskop / Sensor (AFM, WLI), Aufbau von platzsparenden XYZ Mehrachssystemen, Manipulator für Industrie und Forschung, Kompakte Reinraum-Positioniersysteme, Wafer Inspektion, Wafer Prober Justage

Spezifikationen

MT130		-50-SM
Verfahrweg	[mm]	50
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm]	± 2.3
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm]	± 4.3
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s]	20
Max. Geschwindigkeit	[mm/s]	40
Max. Last Fx	[N]	45
Max. Last Fy	[N]	95
Max. Last Fz	[N]	95
Länge	[mm]	155
Breite	[mm]	130
Höhe	[mm]	43
Gewicht	[kg]	2.2
Schmierung flüssig	[mbar]	bis 10^-8
Schmierung trocken	[mbar]	bis 10^-11
Max. Ausheiztemperatur	[deg]	120
Antrieb		Kugelgewindetrieb 1214.563/2.8.78.115 P3P (ISO 5)
Spindelsteigung		2
Führung		Kreuzrolle Edelstahl, hybrid, optional Vollkeramik
Motor		Schrittmotor
Feedback		Open Loop
Optionale Zusatzausstattung		Verfahrwege bis 80 mm, hochauflösendes Messsystem, kundenspezifsche EUV-Schmierung, flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Gleitgewindetrieb mit Trockenschmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Varianten Reinraum		bis Reinraum Klasse ISO 5 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung		UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus		magnetisch
Varianten Vakuum		alle Bereiche bis 10E-11 mbar HV / UHV

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.