LT300
Vakuum / Reinraum Linearachsen und Lineartische

782475:035.26, 782475:006.26

Präziser Hochlast Lineartisch

HV / UHV / EUV, ISO 4, 50 - 100 mm Verfahrweg, 0.5 µm Wiederholgenauigkeit, 10 kg Last

Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 4 (höher auf Anfrage)

Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis 10^-11 mbar

Schmierung flüssig bis 10^-8 / trocken bis 10^-11 mbar

Max. Ausheiztemperatur: 120°C

Verfügbar als magnetische Ausführung

Sehr hohe Lebensdauer, auch bei Trockenlauf

Optional konfigurierbar:

Verfügbar mit Bremse
Auf die Anwendung angepasste Materialwahl und Vakuumschmierung
Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer
Optional mit Controller FMC400/450

Stabilität im Nanometerbereich trotz hoher Lasten bis 10 kg

Der Lineartisch ist dafür ausgelegt unter extremen Bedingungen, wie im Hochvakuum und im Ultra-Hochvakuum, Lasten mit einer hohen Steifigkeit zu positionieren. Ausgestattet mit einer Piezozangenbremse, erreicht dieses Positioniersystem eine Stabilität im Nanometerbereich.

Anwendungsbereiche

Halbleitertechnik im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, Waferjustage, Wafer Inspektion, Kamerajustage, Sensorjustage, Inspektion von Kontakten, Ausrichten von Spiegeln, Probing, Vakuumkammern, Forschung, Beamline-Instrumentierung, Elektronikmontage und -inspektion, Hochpräzise Scananwendungen

Spezifikationen

LT300		-50-SM	-50-SM-L	-100-SM	-100-SM-L
Verfahrweg	[mm]	50	50	100	100
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm]	± 2.9	± 0.4	± 2.9	± 0.4
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm]	± 4	± 0.5	± 4	± 0.5
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s]	5	5	5	5
Max. Geschwindigkeit	[mm/s]	10	10	10	10
Max. Last Fx	[N]	44	44	44	44
Max. Last Fy	[N]	44	44	44	44
Max. Last Fz	[N]	120	120	120	120
Länge	[mm]	360	360	340	340
Breite	[mm]	300	300	300	300
Höhe	[mm]	65	65	60	60
Schmierung flüssig	[mbar]	bis 10^-8
Schmierung trocken	[mbar]	bis 10^-11
Max. Ausheiztemperatur	[deg]	120
Motor		Schrittmotor
Führung		Kreuzrolle Edelstahl, hybrid
Feedback		Open Loop	Linearmesssystem	Open Loop	Linearmesssystem
Auflösung Messsystem			0.1 µm		0.1 µm
Optionale Zusatzausstattung		Gleitgewindetrieb mit Trockenschmierung oder Kugelgewindetrieb mit Flüssigschmierung, kundenspezifsche flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Varianten Reinraum		bis Reinraum Klasse ISO 4 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung		UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus		magnetisch
Varianten Vakuum		alle Bereiche bis 10E-11 mbar HV / UHV

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.