LA97
Vakuum / Reinraum Linearachsen und Lineartische

782457:005.24

Nanometer-Linearachse

HV / UHV, 100 - 300 mm Verfahrweg, 0.02 µm Wiederholgenauigkeit, bis 10 kg Last

Vakuum: alle Bereiche HV / UHV bis 10^-11 mbar

Schmierung: flüssig bis 10^-8 mbar / trocken bis 10^-11 mbar

Max. Ausheiztemperatur: 120°C

Optional konfigurierbar:

Verfügbar als magnetische, magnetarme und magnetfreie Ausführung
Auf die Anwendung angepasste Materialwahl und Vakuumschmierung
Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer
Ausführung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
Optional mit Controller FMC400/450

Horizontale und vertikale Nanometer-Positionierung

Diese Vakuum-Linearachse für alle HV / UHV Bereiche bis 10^-11mbar geeignet. Sie ist universell einsetzbar, da sie auch für vertikale Positionieraufgaben verwendet werden kann. Sie erreicht im Vakuum extrem hohe Auflösungen und höchste Steifigkeit. Je nach zu bewegender Last können 2 bis 6 Motoren in Zangenanordnung verwendet werden.

Anwendungsfelder

Hochpräzise Scananwendungen, Mikromontage, Halbleitertechnik im Ultrahochvakuum und unter Ultraviolettstrahlung, Vakuumkammern, Forschung, Beamline-Instrumentierung, Elektronikmontage und -inspektion

Spezifikationen

782457:005.24		-100-PM	-200-PM	-300-PM
Verfahrweg	[mm]	100	200	300
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm]	± 0.015	± 0.015	± 0.015
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm]	± 0.02	± 0.02	± 0.02
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s]	5	5	5
Max. Geschwindigkeit	[mm/s]	7.5	7.5	7.5
Max. Last Fx	[N]	39	68	98
Max. Last Fy	[N]	39	68	98
Max. Last Fz	[N]	19	39	58
Länge	[mm]	120	220	320
Breite	[mm]	97	97	97
Höhe	[mm]	44	44	44
Schmierung flüssig	[mbar]	bis 10^-8
Schmierung trocken	[mbar]	bis 10^-11
Max. Ausheiztemperatur	[deg]	120
Motor		Piezo Motor
Führung		Kreuzrolle Edelstahl, hybrid, optional Vollkeramik
Feedback		Linearmesssystem
Auflösung Messsystem		0.000005 µm, optional bis zu 0.000001 µm
Optionale Zusatzausstattung		kundenspezifsche flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Varianten Reinraum		bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung		UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus		magnetisch, magnetarm, magnetfrei
Varianten Vakuum		alle Bereiche bis 10^-11 HV/UHV

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.