LA92
Vakuum / Reinraum Linearachsen und Lineartische

782475:037.26, 782475:028.26

High Speed Linearachse

HV / UHV / EUV, ISO 4, 40 mm Verfahrweg, 0.4 µm Wiederholgenauigkeit, 2 kg Last

Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 4 (höher auf Anfrage)

Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis 10^-11 mbar

Schmierung flüssig bis 10^-8 / trocken bis 10^-11 mbar

Max. Ausheiztemperatur: 120°C

Optional konfigurierbar:

Verfügbar als magnetische, magnetarme und magnetfreie Ausführung
Auf die Anwendung angepasste Materialwahl und Vakuumschmierung
Kombinierbar zum schnellen XYZ Transfersystem (z.B. LA90, LA95, LA170)
Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer
Ausführung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
Optional mit Controller FMC400/450

Schnelle horizontale und vertikale Positionierung im UHV

Die Linearachse wird hauptsächlich für das Scanning von Proben eingesetzt. Sie ermöglicht eine schnelle Positionierung mit extrem hoher Auflösung im Ultrahochvakuum, auch in vertikaler Richtung. Sie verfügt über eine sehr schmale Bauform mit innenliegenden Motoren.

Anwendungsbereiche

Hochpräzise Scananwendungen, Mikromontage, Halbleitertechnik im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, Vakuumkammern, Forschung, Beamline-Instrumentierung, Elektronikmontage und -inspektion

Spezifikationen

LA92		-40-LM-L
Verfahrweg	[mm]	40
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm]	± 0.3
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm]	± 0.4
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s]	100
Max. Geschwindigkeit	[mm/s]	150
Max. Last Fx	[N]	19
Max. Last Fy	[N]	19
Max. Last Fz	[N]	9
Länge	[mm]	205
Breite	[mm]	92
Höhe	[mm]	32
Schmierung flüssig	[mbar]	bis 10^-8
Schmierung trocken	[mbar]	bis 10^-11
Max. Ausheiztemperatur	[deg]	120
Motor		Nanomotion
Führung		Kreuzrolle Edelstahl, hybrid, optional Vollkeramik
Feedback		Linearmesssystem
Auflösung Messsystem		0.1 µm, optional bis zu 0.005 µm
Optionale Zusatzausstattung		kundenspezifsche flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Varianten Reinraum		bis Reinraum Klasse ISO 4 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung		UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus		magnetisch, magnetarm, magnetfrei
Varianten Vakuum		alle Bereiche bis 10^-11mbarHV / UHV

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.