LA80
Vakuum / Reinraum Linearachsen und Lineartische

782475:038.26, 782475:049.26

High Speed Linearachse

HV / UHV / EUV, ISO 4, 200 - 500 mm Verfahrweg, 0.4 µm Wiederholgenauigkeit, 5 kg Last

Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 4 (höher auf Anfrage)

Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis 10^-11 mbar

Schmierung flüssig bis 10^-8 / trocken bis 10^-11 mbar

Lebensdauer im Kilometerbereich trotz Trockenschmierung

Max. Ausheiztemperatur: 120°C

Verfügbar als magnetische Ausführung

Optional konfigurierbar:

Wahlweise mit und ohne Messsystem
Auf die Anwendung angepasste Materialwahl und Vakuumschmierung
Kombinierbar zum schnellen XYZ Transfersystem (z.B. LA90, LA95, LA170)
Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer
Optional mit Controller FMC400/450

Hohe Lebensdauer trotz Trockenlauf

Diese Linearachse wird als leistungsfähige Komponente für Mehrachssysteme und für hochdynamische Transfersysteme eingesetzt. Sie ermöglicht eine schnelle Positionierung mit extrem hoher Auflösung im Ultrahochvakuum, auch in vertikaler Richtung. Ein Kugelgewindetrieb sorgt für eine hohe Steifigkeit und Stillstandsstabilität bei gleichzeitig hoher Geschwindigkeit. Das System kommt ohne flüssige Schmierstoffe aus und bietet dennoch eine Lebensdauer im Bereich von mehreren Kilometern.

Anwendungsbereiche

Hochpräzise Transfersysteme im Ultrahochvakuum unter extrem ultravioletter Strahlung, Halbleiterherstellung, Strahlformung für Belichtungsprozesse, Oberflächenanalyse und Sensorpositionierung, Massenspektrometrie, OLED Beschichtungsprozesse, Schichtdickenmessung und Schichtratenmessung, Oberflächenbeschichtung (Sputtern, Bedampfen), Strahlabgänge, Experimentalaufbauten, Sensor-Anordnungen für Untersuchungen von Proben nahe ihres nativen Zustands

Referenzen

OMNY—A tOMography Nano crYo stage | Review of Scientific Instruments 89, 043706 (2018) | https://doi.org/10.1063/1.5020247

Spezifikationen

LA80		-200-SM	-200-SM-L	-500-SM	-500-SM-L
Verfahrweg	[mm]	200	200	500	500
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm]	± 3	± 0.3	± 3	± 0.3
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm]	± 4	± 0.5	± 4	± 0.5
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s]	50	50	50	50
Max. Geschwindigkeit	[mm/s]	100	100	100	100
Max. Last Fx	[N]	49	49	49	49
Max. Last Fy	[N]	49	49	49	49
Max. Last Fz	[N]	9	9	9	9
Länge	[mm]	446	446	706	706
Breite	[mm]	86	86	86	86
Höhe	[mm]	61	61	51	51
Schmierung flüssig	[mbar]	bis 10^-8
Schmierung trocken	[mbar]	bis 10^-11
Max. Ausheiztemperatur	[deg]	120
Motor		Schrittmotor
Führung		Edelstahl hybrid, Kugelumlaufführungen
Feedback		Open Loop	Linearmesssystem	Open Loop	Linearmesssystem
Auflösung Messsystem			0.5 µm		0.5 µm
Zusatzausstattung		Gleitgewindetrieb mit Trockenschmierung oder Kugelgewindetrieb mit Flüssigschmierung, kundenspezifsche flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Varianten Reinraum		bis Reinraum Klasse ISO 4 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung		UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus		magnetisch
Varianten Vakuum		alle Bereiche bis 10E-11 mbar HV / UHV

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.