LA170
Vakuum / Reinraum Linearachsen und Lineartische

782475:031.26; 782475:033.26

Präzise Schwerlast XYZ Linearachse

HV / UHV / EUV, 60 - 130 mm Verfahrweg, 0.5 µm Wiederholgenauigkeit, 20 kg Last

Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis 10^-11 mbar

Schmierung flüssig bis 10^-8 / trocken bis 10^-11 mbar

Max. Ausheiztemperatur: 120°C

Verfügbar als magnetische Ausführung

Optional konfigurierbar:

Auf die Anwendung angepasste Materialwahl und Vakuumschmierung
Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer
Ausführung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
Optional mit Controller FMC400/450

Hochpräzise Positionierung in X, Y und Z bis 20 kg

Sie wird als leistungsfähige Komponente für Mehrachssysteme sowie für das Scannen von mehreren Proben gleichzeitig eingesetzt. Sie ermöglicht eine extrem feine Positionierung mit hoher Lasten im Ultrahochvakuum, auch in vertikaler Richtung.

Anwendungsbereiche

Aufbau von Mehrachssystemen, Prozessautomatisierung, 3D Scans, Probenscan, Positionierung bildgebender Systeme, Mikroskopie, Analyse von Proben, Halbleiterinspektion, Qualitätssicherung in der Biotechnologie und Halbleitertechnik, Forschung, Beamline, Beschleuniger, Synchrotron

Spezifikationen

LA170		-60-SM	-60-SM-L	-130-SM	-130-SM-L
Verfahrweg	[mm]	60	60	130	130
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm]	± 2.8	± 0.4	± 2.8	± 0.4
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm]	± 4	± 0.5	± 4	± 0.5
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s]	5	5	5	5
Max. Geschwindigkeit	[mm/s]	10	10	10	10
Max. Last Fx	[N]	196	196	196	196
Max. Last Fy	[N]	196	196	196	196
Max. Last Fz	[N]	196	196	196	196
Länge	[mm]	255	255	365	365
Breite	[mm]	170	170	170	170
Höhe	[mm]	70	120	120	120
Schmierung flüssig	[mbar]	bis 10^-8
Schmierung trocken	[mbar]	bis 10^-11
Max. Ausheiztemperatur	[deg]	120
Motor		Schrittmotor
Führung		Kreuzrolle Edelstahl, hybrid
Feedback		Open Loop	Linearmesssystem	Open Loop	Linearmesssystem
Auflösung Messsystem			0.1 µm		0.1 µm
Optionale Zusatzausstattung		Gleitgewindetrieb mit Trockenschmierung oder Kugelgewindetrieb mit Flüssigschmierung, kundenspezifsche flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Varianten Reinraum		bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung		UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus		magnetisch
Varianten Vakuum		alle Bereiche bis 10E-11 mbar HV / UHV

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.