LA105
Vakuum / Reinraum Linearachsen und Lineartische

782475:036.26 (VSS43, without gear box)

Linear- mit Piezo-Offset-Stage

HV / UV / DUV, ISO 3, Hub 7 - 100 mm, Last 3 kg, Repro ± 0.002 µm, Breite 105 mm

Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 3 (höher auf Anfrage)

Vakuum: alle Bereiche HV, UHV flüssig bis 10^-8 / trocken bis 10^-9 mbar

Max. Ausheiztemperatur: 120°C

Optionen

Gleitgewinde für UHV oder Kugelgewindetrieb im Vollschrittbewegung
Getriebe für Vertikalbetrieb
Ausführung für Reinraum, Vakuum und Strahlung
Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion
Optional mit Controller FMC400/450

Stabilität im pm-Bereich, nm-Schrittweite bei bis zu 100 mm Verfahrweg

Die Basis ist ein System aus Gleitgewinde für UHV oder Kugelgewindetrieb im Vollschritt. Im Schlitten des Tisches ist ein Piezomechanismus integriert, welcher ausgehend von dieser sehr stabil stehenden Basis, weitere Stellbewegungen mit sub-µm Auflösung realisiert. Das System arbeitet also im Huckepack-Prinzip. Für Vertikaleinsatz kann der Tisch mit Getriebe ausgerüstet werden. Für kontinuierliche Prozesse kann auf ein Feedback am Piezoantrieb verzichtet werden, ist auf Wunsch jedoch integrierbar.

Anwendungsbereiche

Semiconductor Manufacturing & Handling, DUV-Positionierung, Ausrichten von optischen Komponenten, Halbleiterinspektion, Mask Aligner, Laminographie, Forschung am Synchrotron, Positionierung für Scananwendungen, Transfer Positioniering, Halbleitertechnik, Ultrahochvakuum, Vakuumkammern, Forschung, Beamline-Instrumentierung, Elektronikmontage und -inspektion

Spezifikationen

LA105 (VSS43)		X1	X2 (Offset Stage)
Verfahrweg	[mm]	7 - 100	0.1
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm]	± 7.5	± 0.001
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm]	± 30	± 0.002
Kleinstes Stellinkrement	[µm]	7.5	0.001
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s]	5	0.1
Max. Geschwindigkeit	[mm/s]	10	0.15
Max. Last Fx	[N]	30
Max. Last Fy	[N]	30
Max. Last Fz	[N]	30
Länge	[mm]	210
Breite	[mm]	105
Höhe	[mm]	57
Gewicht	[kg]	2.5
Schmierung flüssig	[mbar]	bis 10^-8
Schmierung trocken	[mbar]	bis 10^-11
Max. Ausheiztemperatur	[deg]	120
Spindelsteigung	[mm]	1,5
Spindeltyp		Gleitgewindetrieb P1.5 D8 L85
Führung		Kreuzrolle Edelstahl, hybrid
Motor		Schrittmotor	Piezo-Stack
Feedback		Linearmesssystem	Open Loop
Auflösung Messsystem		0.1 µm, optional bis 0.001 µm
Optionale Zusatzausstattung		Kugelgewindetrieb mit Flüssigschmierung, Getriebe für Vertikalbetrieb, mit / ohne Offset Stage, Linearmesssystem für Piezo Offset Stage, kundenspezifsche flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Varianten Reinraum		bis Reinraum Klasse ISO 3 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung		UV, DUV (EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus		magnetisch
Varianten Vakuum		alle Bereiche bis 10E-11 mbar HV / UHV

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.