KT105
Vakuum / Reinraum Kreuztische

782325:029.26 (without aperture)

Hochauflösender Kreuztisch

HV / UHV / EUV, 50 mm Verfahrweg, 0.3 µm Wiederholgenauigkeit, 3 kg Last

Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis 10^-11 mbar

Schmierung flüssig bis 10^-8 / trocken bis 10^-11 mbar

Max. Ausheiztemperatur: 120°C

Reinraum Klasse 4 nach ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)

Optional konfigurierbar:

Mit und ohne Durchlicht
Verfügbar als magnetische, magnetarme und magnetfreie Ausführung
Verschiedene Motorvarianten: Nanomotion oder Piezo Motor
Kombinierbar zum XYZ Positioniersystem (z.B. MT105)
Kombinierbar mit Drehtischen (z.B. DT105) für rotatorische Anwendungen
Optional mit Controller FMC400/450

Flexibles XY-Durchlichtsystem

Der Kreuztisch mit Durchlichtöffnung und Kreuzrollenführungen bietet hohe Dynamik und Geschwindigkeit für Anwendungen im Hochvakuum, Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung. Gemessen an seiner Größe verfügt er über einen großen Verfahrweg. Ausgestattet mit einem Piezo Motor erreicht er kleinste Schritte im Nanometerbereich mit einer nahezu unerreichbaren Positionsstabilität. Mit einem Nanomotion erreicht er eine sehr hohe Dynamik sowie hohe Geschwindigkeiten und verfügt über eine maximale Lebensdauer mit einer Präzision im Mikrometerbereich. Er lässt sich einfach mit dem Hubtisch MT105 oder den Drehtisch DT105 kombinieren, woraus sich vielfältige Anwendungen ergeben.

Anwendungsbereiche

Präzisionspositionierung für Laboranwendungen, Mikroskopie und Halbleitertechnik, Forschung im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, Probenvorbereitung, Probenscan, Probenhandling, Biochips, Wafer Inspektion, Waferjustage, Kamerajustage, Materialforschung, Materialanalyse, Beamline, Beschleuniger, Synchrotron

Spezifikationen

KT105		-50-PM-L	-50-LM-L
Verfahrweg	[mm]	50 x 50	50 x 50
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm]	± 0.3	± 0.5
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm]	± 0.4	± 0.7
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s]	5	25
Max. Geschwindigkeit	[mm/s]	10	50
Max. Last Fx	[N]	5	4
Max. Last Fy	[N]	5	4
Max. Last Fz	[N]	45	45
Länge	[mm]	150
Breite	[mm]	150
Höhe	[mm]	50
Schmierung flüssig	[mbar]	bis 10^-8
Schmierung trocken	[mbar]	bis 10^-11
Max. Ausheiztemperatur	[deg]	120
Motor		Piezo Motor	Nanomotion
Führung		Kreuzrolle Edelstahl, hybrid, optional Vollkeramik
Feedback		Linearmesssystem
Auflösung Messsystem		0.1 µm, optional 0.001 µm
Optionale Zusatzausstattung		Mit oder ohne Apertur, Drehtisch DT105, Z-Achse HT160 / MT105, kundenspezifsche flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Varianten Reinraum		bis Reinraum Klasse ISO 4 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung		UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus		magnetisch, magnetarm, magnetfrei
Varianten Vakuum		alle Bereiche bis 10E-11 mbar HV / UHV

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.