KDT300-SM
Vakuum / Reinraum Kreuztische

782475:002.26

Hochlast XY Apertur Stage

UHV, DUV / EUV, Reinraum ISO 4, Hub 10 - 100 mm, Repro 0.7 µm, 30 kg Last

Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 4 (höher auf Anfrage)

Vakuum: alle Bereiche HV / UHV bis 10^-11 mbar

Schmierung flüssig bis 10^-8 / trocken bis 10^-11 mbar

Max. Ausheiztemperatur: 120°C

Durchlicht: 80 x 80 mm

Optional konfigurierbar:

Mit und ohne Apertur
Wahlweise mit Gleitgewindetrieb oder geschmierten Kugelgewindetrieb für höhere Geschwindigkeiten
Kombinierbar mit Drehtischen (z.B. DT155) für rotatorische Anwendungen
Auf die Anwendung angepasste Materialwahl und Schmierung
Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion
Optional mit Controller FMC400/450

Höchste Stabilität im Nanometerbereich, auch im Trockenlauf

Das Positioniersystem mit Durchlichtöffnung wurde aus zwei Lineartischen LT300 zu einem präzisen und hochbelastbaren Kreuztisch für Anwendungen im Hochvakuum, Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung kombiniert.

Das System läuft vollkommen schmierstofffrei. Sein Konzept aus Kreuzrollenführungen und Gleitgewindetrieb ermöglicht enorm hohe Stabilität im Nanometerbereich. Optional kann dieses System mit geschmierten Kugelgewindetrieb für höhere Geschwindigkeiten ausgelegt werden.

Anwendungsbereiche

Präzisionspositionierung für große Lasten, Forschung im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, Probenvorbereitung, Probenscan, Probenhandling, Biochips, Kamerajustage, Materialforschung, Materialanalyse, Beamline, Beschleuniger, Synchrotron

Spezifikationen

KDT300		-10-SM	-10-SM-L	-50-SM	-50-SM-L	-100-SM	-100-SM-L
Standard System		LT300	LT300	LT300	LT300	LT300	LT300
Verfahrweg	[mm]	10 x 10	10 x 10	50 x 50	50 x 50	100 x 100	100 x 100
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm]	± 2.8	± 0.7	± 2.9	± 0.4	± 2.9	± 0.4
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm]	± 4	± 0.5	± 4	± 0.5	± 4	± 0.5
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s]	5	5	5	5	5	5
Max. Geschwindigkeit	[mm/s]	10	10	10	10	10	10
Max. Last Fx	[N]	44	44	44	44	44	44
Max. Last Fy	[N]	44	44	44	44	44	44
Max. Last Fz	[N]	120	120	120	120	120	120
Länge	[mm]	370	370	360	360	340	340
Breite	[mm]	330	330	300	300	300	300
Höhe	[mm]	120	120	120	120	120	120
Apertur	[mm]	80 x 80
Schmierung flüssig	[mbar]	bis 10^-8
Schmierung trocken	[mbar]	bis 10^-11
Max. Ausheiztemperatur	[deg]	120
Motor		Schrittmotor
Führung		Kreuzrolle Edelstahl, hybrid
Feedback		Open Loop	Linearmesssystem	Open Loop	Linearmesssystem	Open Loop	Linearmesssystem
Auflösung Messsystem			0.1 µm		0.1 µm		0.1 µm
Optionale Zusatzausstattung		Gleitgewindetrieb mit Trockenschmierung oder Kugelgewindetrieb mit Flüssigschmierung, kundenspezifsche flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Varianten Reinraum		bis Reinraum Klasse ISO 4 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung		UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus		magnetisch
Varianten Vakuum		alle Bereiche bis 10E-11 mbar HV / UHV

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.