Vakuum / Reinraum Kreuztische

Unsere hochpräzisen Kreuztische sind universell einsetzbar und entsprechen mit ihren Ablaufwerten und Restdrücken bis 10^-6mbar - oder noch besser, den speziellen Anforderungen in der Forschung, Entwicklung und moderner Halbleitertechnik.

KDT310-SM-HV

KDT310-SM-HV

Präziser Schwerlast-Kreuztisch HV, DUV, Reinraum ISO 6, Hub 100 x 100 mm, Repro bis 0.7 µm, Speed 20 mm/s,...

KDT300-SM

KDT300-SM

Hochlast XY Apertur Stage UHV, DUV / EUV, Reinraum ISO 4, Hub 10 - 100 mm, Repro 0.7 µm, 30 kg Last ...

KDT120

KDT120

Hochauflösender Titan-XY-Kreuztisch UHV. DUV / EUV, ISO 4, Hub 24 x 24 mm, Repro 0.03 µm, Last 0.5 kg, Speed...

KT106/170-SM

KT106/170-SM

XY-Proben-Stage HV, UV / DUV, ISO 4, Hub 136 x 170 mm, Repro 0.6 µm, Last 5 kg, Speed 20 mm/s ...

KDT105

KDT105

Hochauflösender Kreuztisch HV / UHV / EUV, 50 mm Verfahrweg, 40 mm Apertur, 0.3 µm Wiederholgenauigkeit, 3...

KT105

KT105

Hochauflösender Kreuztisch HV / UHV / EUV, 50 mm Verfahrweg, 0.3 µm Wiederholgenauigkeit, 3 kg Last ...

KDT70-PM

KDT70-PM

Nichtmagnetische Titan-XY-Stage UHV / DUV / EUV, ISO 6, Hub 10 x 10 mm, Repro 0.3 µm, Last 0.3 kg, Speed 10...

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