HT160
Vakuum / Reinraum Hubtische

782331:124.26

Präziser Hubtisch

UHV, DUV / EUV, Reinraum ISO 4, Hub 16 mm, Repro 1 µm, Last 5 kg

Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 4 (höher auf Anfrage)

Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis 10^-9 mbar

Schmierung flüssig bis 10^-9 / trocken bis 10^-9 mbar

Max. Ausheiztemperatur: 120°C

Optionen:

Auf die Anwendung angepasste Materialwahl und Schmierung
Ausführung für Reinraum, Vakuum und Strahlung
Optional mit Controller FMC400/450
Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion

Präziser Hubtisch für hohe Lasten

Der Hubtisch ist für hochpräzise vertikale Bewegungen unter extremen Bedingungen, wie im Hochvakuum, im Ultra-Hochvakuum geeignet. Aufgrund seines Hub-Keil-Prinzips erreicht er seine Parameter trotz geringer Bauhöhe. Die Kombination aus Getriebemotoren und einem präzisen Kugelgewindetrieb, wahlweise Gleitgewindetrieb, ermöglicht kleinste Schrittweiten bei vergleichsweise hohen Lasten.

Anwendungsbereiche

Präzisionspositionierung in der Industrie und Forschung im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, Waferjustage, Kamerajustage, Materialforschung, Materialanalyse, Mikroskopie im Vakuum, Beamline, Beschleuniger, Synchrotron

Spezifikationen

782331:124.26		-SM	-SM-L
Verfahrweg	[mm]	16	16
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm]	± 1.7	± 1
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm]	± 2.7	± 2
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s]	1.1	1.1
Max. Geschwindigkeit	[mm/s]	2.2	2.2
Max. Last Fx	[N]	50	50
Max. Last Fy	[N]	50	50
Max. Last Fz	[N]	45	45
Länge	[mm]	348	348
Breite	[mm]	154	154
Höhe	[mm]	58	58
Gewicht	[kg]	5	5
Antrieb		1214.559/1.8.88.124R P3P
Schmierung flüssig	[mbar]	bis 10^-9
Schmierung trocken	[mbar]	bis 10^-9
Max. Ausheiztemperatur	[deg]	120
Motor		Schrittmotor
Führung		Kreuzrolle Edelstahl, hybrid
Feedback		Open Loop	Linearmesssystem
Auflösung Messsystem		-	0.1 µm, optional bis 0.001 µm
Optionale Zusatzausstattung		Keil mit Kugelgewindespindel oder Gleitgewindetrieb mit Trockenschmierung, kundenspezifsche flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Varianten Reinraum		bis Reinraum Klasse ISO 4 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung		UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus		magnetisch
Varianten Vakuum		alle Bereiche bis 10E-9 mbar HV / UHV

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.