HDT255
Vakuum / Reinraum Hubtische

782475:013.14

Durchlicht-Hubtisch

UHV, DUV / EUV, ISO 6, Hub 16 mm, Repro 0.7 µm, 10 kg Last, Speed 16 mm/s

Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)

Vakuum: alle Bereiche HV / UHV bis 10^-11 mbar

Schmierung: flüssig bis 10^-8 / trocken bis 10^-11 mbar

Max. Ausheiztemperatur: 120°C

Optionen:

Mit und ohne Durchlicht
Wahlweise mit und ohne Messystem
Auf die Anwendung angepasste Materialwahl und Schmierung
Optional mit Controller FMC400/450
Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion

Präziser Hubtisch für hohe Lasten

Der Hubtisch mit Durchlicht ist für hochpräzise vertikale Bewegungen unter extremen Bedingungen, wie im Hochvakuum, im Ultra-Hochvakuum und unter Extrem Ultravioletter Strahlung geeignet. Aufgrund seines Hub-Keil-Prinzips erreicht er seine Parameter trotz geringer Bauhöhe von 125 mm. Die Kombination aus Schrittmotor und einem präzisen Kugelgewindetrieb, wahlweise Gleitgewindetrieb, ermöglicht kleinste Schrittweiten bei vergleichsweise hohen Lasten.

Anwendungsbereiche

Präzisionspositionierung in der Mikroskopie, Industrie und Forschung im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, Justage und Inspektion von Wafern, Probecards und Leiterplatten, Oberflächenanalyse, Schichtdickenmessung, Kamerajustage, Materialforschung, Materialanalyse, Inspektion, Mikroskopie im Vakuum, Beamline, Beschleuniger, Synchrotron

Spezifikationen

HDT255		-SM	-SM-L
Verfahrweg	[mm]	16	16
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm]	± 2.9	± 0.7
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm]	± 4	± 1
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s]	8.3	8.3
Max. Geschwindigkeit	[mm/s]	16.6	16.6
Max. Last Fx	[N]	98	98
Max. Last Fy	[N]	98	98
Max. Last Fz	[N]	98	98
Länge	[mm]	410	410
Breite	[mm]	225	225
Höhe	[mm]	125	125
Apertur	[mm]	60 x 60
Gewicht	[kg]	11
Schmierung flüssig	[mbar]	bis 10^-8
Schmierung trocken	[mbar]	bis 10^-11
Max. Ausheiztemperatur	[deg]	120
Motor		Schrittmotor
Führung		Kreuzrolle Edelstahl, hybrid
Feedback		Open Loop	Linearmesssystem
Auflösung Messsystem		-	0.1 µm
Optionale Zusatzausstattung		Mit oder ohne Durchlicht, Gleitgewindetrieb oder Kugelgewindetrieb, kundenspezifsche flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Varianten Reinraum		bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung		UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus		magnetisch
Varianten Vakuum		alle Bereiche bis 10E-11 mbar HV / UHV

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.