DT65-NM
Vakuum / Reinraum Drehtische

782326:011.24 (Rev 782326:005.26)

Hochdynamischer Drehtisch

HV / UHV, DUV, Reinraum ISO 6, Hub unbegrenzt, Repro bis 0.003°, Speed bis 540°/s, Last bis 1 kg

Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)

Vakuum: alle Bereiche HV / UHV bis 10^-11 mbar

Schmierung: flüssig bis 10^-8 mbar / trocken bis 10^-11 mbar

Max. Ausheiztemperatur: 100°C

Optional konfigurierbar:

Verfügbar als magnetische und magnetarme Ausführung (magnetfrei auf Anfrage)
Auf die Anwendung angepasste Materialwahl und Schmierung
Optional mit Controller FMC400/450
Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion

Kleiner, hochdynamischer Drehtisch

Der kleinste Vakuum-Drehtisch im Produktportfolio überzeugt durch seine hohe Dynamik und Geschwindigkeit. In Vakuum- und magnetarmer Ausführung ist der DT65 perfekt geeignet für Anwendungen in anspruchsvollen Umgebungen. Er findet daher seinen Einsatz insbesondere in der Forschung und Entwicklung sowie in der Experimentalphysik. Er lässt sich zu anspruchsvollen Mehrachssystemen kombinieren und kann einfach über unsere FMC 400/450 Controller angesteuert werden.

Anwendungsfelder

Forschung und Entwicklung, Aufbau von Mehrachssystemen, Beamline-Instrumentierung, Synchrotron, Materialforschung, Materialanalyse, Waferinspektion, Halbleiter Qualitätskontrolle, Halbleiterforschung

Spezifikationen

DT65		-1NM-W
Verfahrweg	[deg]	nx360
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[deg]	± 0.003
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[deg]	± 0.006
Positioniergeschwindigkeit	[deg/s]	360
Max. Geschwindigkeit	[deg/s]	540
Max. Beschleunigung	[deg/s²]	20000
Max. Last Fz	[N]	10
Max. Lastmoment Mx	[Nm]	3.3
Max. Lastmoment My	[Nm]	3.3
Max. Lastmoment Mz	[Nm]	0.25
Länge	[mm]	106
Breite	[mm]	65
Höhe	[mm]	30
Drehteller	[mm]	Ø 65
Apertur (optional)	[mm]	Ø 14
Schmierung flüssig	[mbar]	bis 10^-8
Schmierung trocken	[mbar]	bis 10^-11
Max. Ausheiztemperatur	[deg]	100
Lager		2 Dünnringlager
Motor		Nanomotion (Piezo)
Feedback		Winkelmesssystem
Auflösung Messsystem		0.001 deg
Optionale Zusatzausstattung		Mit oder ohne Apertur, kundenspezifsche flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Varianten Reinraum		bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung		UV, DUV (EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus		magnetisch, magnetarm (magnetfrei auf Anfrage)
Varianten Vakuum		alle Bereiche bis 10E-11 mbar HV / UHV (höher auf Anfrage)

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.