Flacher Apertur Drehtisch

HV, DUV / EUV, Reinraum ISO 5, n x 360°, Repro 0.004°, Speed 59°/s, Last 12 kg

Reinraumtauglich, kundenspezifisch anpassbar

Durch die komplette Einhausung zeichnet sich die bewährte Drehtisch-Serie durch eine geringe Partikelfreisetzung aus und ist damit ideal für den Einsatz in Reinräumen geeignet (Varianten bis Reinraum Klasse ISO 5, optional bis Klasse ISO 1 auf Anfrage). Die Systeme arbeiten im 24/7-Betrieb wartungsfrei und lassen sich dank kundenspezifischer Adapter, Abdeckungen und Anbauteile problemlos in bereits existierende Anlagen integrieren. Chuck-Interfaces lassen sich modifizieren und auf die applikationsspezifischen Anforderungen anpassen, beispielsweise mittels kundenspezifischem Bohrbild, Auflagefläche mit erhöhter Parallelität, integrierter Drehdurchführung oder durch den Einsatz eines Schnellwechselinterface.

In puncto Oberflächenbeschaffenheit und Strahlungstauglichkeit bestehen ebenfalls keine Einschränkungen. Ob eloxal gereinigt, Aluminium gereinigt blank, Bilathal oder Nickel für optimale Prozesstauglichkeit (z.B. besonders hohe Reinheitsgrade, Beständigkeit gegen Reinigung mit Chemikalien im Bereich Life Science), auch unter Strahlung wie UV, DUV oder EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage).
 

Anwendungsfelder

Wafer-Handling, Inspektion / Mikroskopie z.B. AFM, Elektronenmikroskop, Ionen-Mikroskop, Rasterelektronenmikroskop, Rastertunnelmikroskop, Durchlichtmessungen in der Halbleitertechnik, Wafer Inspektion, Labormikroskopie, Bildgebende Systeme, Probenanalyse, Beamline-Instrumentierung, Synchrotron, Materialforschung, Materialanalyse