DT230-SM
Vakuum / Reinraum Drehtische

782475:012.14 (DT230-SM)

Hochauflösender, stabiler Apertur-Drehtisch

UHV, DUV / EUV, Reinraum ISO 6, n x 360°, Repro 0.0002°, Speed 180°/s, Last 15 kg

Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)

Strahlung: UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage)

Vakuum: alle Bereiche HV / UHV bis 10^-11 mbar

Schmierung: flüssig bis 10^-8 mbar / trocken bis 10^-11 mbar

Max. Ausheiztemperatur: 120°C

Optionen:

Verfügbar als magnetische, magnetarme, magnetfreie Ausführung
Auf die Anwendung angepasste Materialwahl und Schmierung
Ausführung für Reinraum (bis ISO Klasse 1 auf Anfrage), Labor oder Produktion
Optional mit Controller FMC400/450 oder SPS-Anbindung
Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion

Anwendungsfelder

Hochauflösende, enorm stabile Inspektion / Mikroskopie z.B. AFM, Elektronenmikroskop, Ionen-Mikroskop, Rasterelektronenmikroskop, Rastertunnelmikroskop, Durchlichtmessungen in der Halbleitertechnik, Wafer Inspektion, Labormikroskopie, Bildgebende Systeme, Probenanalyse, Beamline-Instrumentierung, Synchrotron, Materialforschung, Materialanalyse

Spezifikationen

DT230		-SM-W
Verfahrweg	[deg]	n x 360
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[deg]	± 0.0002
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[deg]	± 0.0003
Positioniergeschwindigkeit	[deg/s]	90
Max. Geschwindigkeit	[deg/s]	180
Max. Last Fz	[N]	150
Länge	[mm]	250
Breite	[mm]	230
Höhe	[mm]	100
Drehteller	[mm]	Ø 200
Apertur (ohne Einlegescheibe)	[mm]	Ø 125
Apertur (mit Einlegescheibe)	[mm]	Ø 25
Gewicht	[kg]	13.1
Schmierung flüssig	[mbar]	bis 10^-8
Schmierung trocken	[mbar]	bis 10^-11
Max. Ausheiztemperatur	[deg]	120
Motor		Schrittmotor
Lager		Kugellager Edelstahl, Hybrid, optional Vollkeramik
Feedback		Winkelmesssystem
Auflösung Messsystem		0.00002°
Optionale Zusatzausstattung		Mit oder ohne Apertur, kundenspezifsche flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Varianten Reinraum		bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung		UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus		magnetisch, magnetarm, magnetfrei
Varianten Vakuum		alle Bereiche bis 10E-11 mbar HV / UHV

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.