DT105-NM
Vakuum / Reinraum Drehtische

782326:024.24, 782326:037.24

Hochauflösender Drehtisch

HV / UHV, DUV, Reinraum ISO 6, n x 360°, Rep 0.0005°, 3 kg Last, Speed 270°/s

Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)

Vakuum: alle Bereiche HV / UHV bis 10^-11 mbar

Schmierung flüssig bis 10^-8 mbar / Sonderkonfiguration trocken bis 10^-11 mbar

Max. Ausheiztemperatur: 100°C

Optional konfigurierbar:

Verfügbar als magnetische und magnetarme Ausführung, magnetfrei als Sonderkonfiguration
Ausstattung mit drei Motoren für Lasten bis 3 kg
Auf die Anwendung angepasste Materialwahl und Schmierung
Optional mit Controller FMC400/450
Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion

Hochauflösende Bildgebung unter begrenzten Bauraum

Dieser kompakte und flache Drehtisch erreicht im Vakuum extrem hohe Auflösungen bei schnellen Prozessen. Durch das Durchlicht von 36 mm erlaubt eine exakt positionierung, vermessen und analyse kleiner Proben. Er lässt sich zu anspruchsvollen Mehrachssystemen kombinieren und kann einfach über unsere FMC 400/450 Controller angesteuert werden.

Anwendungsfelder

Hochpräzise und dynamische Mikroskopie z.B. AFM, Elektronenmikroskop, Ionen-Mikroskop, Rasterelektronenmikroskop, Rastertunnelmikroskop, Labormikroskopie, Bildgebende Systeme, Probenanalyse, Beamline-Instrumentierung, Synchrotron, Materialforschung, Materialanalyse

Spezifikationen

DT105		-1NM-W	-2NM-W
Verfahrweg	[deg]	n x 360	n x 360
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[deg]	± 0.0005	± 0.0005
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[deg]	± 0.001	± 0.001
Positioniergeschwindigkeit	[deg/s]	180	180
Max. Geschwindigkeit	[deg/s]	270	270
Max. Last Fz	[N]	30	30
Max. Lastmoment Mz	[Nm]	0.4	0.8
Länge	[mm]	150	150
Breite	[mm]	105	105
Höhe	[mm]	32	32
Gewicht	[kg]	1.3	1.3
Drehteller	[mm]	Ø 150	Ø 150
Apertur	[mm]	Ø 36	Ø 36
Schmierung flüssig	[mbar]	bis 10^-8	bis 10^-8
Schmierung trocken (Sonderkonfiguration)	[mbar]	bis 10^-11	bis 10-¹¹
Max. Ausheiztemperatur	[deg]	100	100
Motor		1 Nanomotion (Piezo)	2 Nanomotion (Piezo)
Lager		2 Dünnringlager, Edelstahl
Feedback		Winkelmesssystem
Auflösung Messsystem		0.00005°
Optionale Zusatzausstattung		Vierpunktlager für Flüssigschmierung, Ausstattung mit bis zu 4 Motoren für höhere Lasten, kundenspezifsche flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Varianten Reinraum		bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung		UV, DUV (EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus		magnetisch, magnetarm (magnetfrei auf Anfrage)
Varianten Vakuum		alle Bereiche bis 10E-11 mbar HV / UHV

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.