MT53-PM
Miniatur-Lineartische

Mikrotisch mit Kreuzrollenführung und Piezomotor für Schrittweiten im Nanometerbereich.

Hochauflösender Mikrotisch

Der kleinste Tisch im Produktportfolio von Steinmeyer Mechatronik überzeugt durch höchste Auflösungswerte. Mit seiner miniaturisierten Bauform ist er ideal für Anwendungen mit geringem Platzbedarf und hohen Ansprüchen an Stabilität.

Submikrometer Schrittweiten dank Piezomotor

Ausgestattet ist der MT53 mit Kreuzrollenführungen und einem Piezoantrieb, welcher Schrittweiten im Nanometerbereich ermöglicht. In der Vakuum- und nicht-magnetischen Version ist dieser Mikrotisch perfekt geeignet für Anwendungen in anspruchsvollen Umgebungen. Wiederholgenauigkeiten von +- 0.005µm sind mit entsprechendem Linearmesssystem möglich.

Ideal für Mikrobearbeitung und Mikromontage

Der MT53 findet seinen Einsatz insbesondere in Applikationen der Mikrobearbeitung und Mikromontage. Auch für Anwendungen in Forschung und Entwicklung oder in der Halbleiterindustrie lässt er sich ideal einsetzen.

Spezifikationen

Modell MT53		-10-PM- L
Verfahrweg	[mm]	10
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[μm]	± 0.2
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[μm]	± 0.3
Positioniergenauigkeit	[μm]	± 0.8
Ebenheitsabweichung	[μm]	± 0.5
Geradheitsabweichung	[μm]	± 0.4
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s]	5
Max. Beschleunigung	[m/s²]	0.1
Max. Last F_x	[N]	5
Max. Last F_y	[N]	8.8
Max. Last F_z	[N]	8.8
Max. Lastmoment M_x	[Nm]	0.2
Max. Lastmoment M_y	[Nm]	0.09
Max. Lastmoment M_z	[Nm]	0.07
Nicken	[µrad]	± 30
Gieren	[µrad]	± 19
Auflösung	[µm]	0.1
Gewicht	[kg]	0.1

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden. Sprechen Sie uns an.

Passende Controller

FMC400/450

Voll bahnfähiger Mehrachscontroller, einfaches Erstellen von eigenen Programmen.

SPS

Wir unterstützen die Anbindung unserer Systeme an SPS-Architekturen z.B. Beckhoff

CAD-Daten/Datenblätter

mikrotisch-micro-stage-mt53-datenblatt-data-sheet-steinmeyer-mechatronik.pdf

0_STM_CAD_Data_Mikrotisch_MT53-10-PM-L.zip

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Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar und min. Reinraum Klasse ISO 6 - oder noch besser - verfügbar.

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