Miniatur-Lineartische

Einige Miniatur-Lineartische lassen sich optimal zu kompakten Mehrachssystemen kombinieren, die mittels unserer Controller der FMC-Serie angesteuert werden können.

MT130-SM

Lineartisch 130 x 130 x 43 mm, Hub bis 80 mm, Repro 2.3 µm, Last 9 kg, Speed 40 mm/s

MT130-DC

Lineartisch 130 x 130 x 43 mm, Hub bis 80 mm, Repro 0.7 µm, Last 9 kg, Speed 60 mm/s

MT105-NM

Mikrotisch für anspruchsvolle Umgebungen. Ausgestattet mit Kreuzrollenführungen und Piezomotor.

MT105-PM

Mikrotisch mit Kreuzrollenführungen und Piezo LEGS® Motor für anspruchsvolle Umgebungen.

MT95-DC

Lineartisch 95 x 95 x 40 mm, Hub bis 40 mm, Repro 1.5 µm, Last 6 kg, Speed 2 mm/s

MT95-SM

Lineartisch 95 x 95 x 40 mm, Hub bis 40 mm, Repro 2.1 µm, Last 6 kg, Speed 11 mm/s

MT63-DC

Mikrotisch für hochpräzise Anwendungen. Angetrieben durch DC-Motor.

MT63-SM

Mikrotisch für hochpräzise Anwendungen. Angetrieben durch einen Schrittmotor.

MT53-PM

Mikrotisch mit Kreuzrollenführung und Piezomotor für Schrittweiten im Nanometerbereich.

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Ausführungen Reinraum, Strahlung und Vakuum

Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar und min. Reinraum Klasse ISO 6 - oder noch besser - verfügbar.

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