PMT160-EDLM
Lineartische

Hochpräziser Lineartisch (Linear Motor), Hub 50 - 260 mm, Repro ± 0.3 µm, Last 1.4 kg, Speed 375 mm/s
PMT160-EDLM

 

Präzisionsmesstisch mit hoher Auflösung

Aufgrund seines Antriebskonzepts in Kombination mit einem hochauflösenden linearen Wegmesssystem ermöglicht der PMT160-EDLM neben hohen Positioniergeschwindigkeiten kleinste Schrittweiten im Submikrometerbereich.

Kompakt und industrietauglich

Dank seines geschlossenen Designs mit integrierter Kabelführung ist der PMT160-EDLM der ideale Präzisionsmesstisch für industrielle Anwendungen. In Kombiantion mit einem Controller mit Fehlerkompensation erreicht er exzellente Genauigkeiten.

Langlebig trotz dynamischer Dauerbelastung

Mit seinem verschleißfreien Antriebskonzept garantiert der PMT160-EDLM eine hervorragende Lebensdauer bei gleichzeitig hoher Beschleunigung - beispielsweise in der Lasertechnik oder Halbleiterindustrie.

 

PMT160   -50-EDLM-L -100-EDLM-L -150-EDLM-L -200-EDLM-L -260-EDLM-L
Verfahrweg [mm] 50 100 150 200 260
Wiederholgenauigkeit unidirektional [μm] ± 0.3 ± 0.3 ± 0.3 ± 0.3 ± 0.3
Wiederholgenauigkeit bidirektional [μm] ± 0.4 ± 0.4 ± 0.4 ± 0.4 ± 0.4
Positioniergenauigkeit [μm] ± 0.9 ± 1.1 ± 1.3 ± 1.5 ± 1.7
Ebenheitsabweichung [μm] ± 0.5 ± 1 ± 1.5 ± 2 ± 2.6
Geradheitsabweichung [μm] ± 0.4 ± 0.7 ± 1.1 ± 1.4 ± 1.9
Positioniergeschwindigkeit [mm/s] 250 250 250 250 250
Max. Geschwindigkeit [mm/s] 375 375 375 375 375
Max. Beschleunigung [m/s2] 5 5 5 5 5
Max. Last Fx [N] 14 14 14 14 14
Max. Last Fy [N] 150 150 150 150 150
Max. Last Fz [N] 150 150 150 150 150
Max. Lastmoment Mx [Nm] 8.6 8.6 8.6 8.6 8.6
Max. Lastmoment My [Nm] 8.8 8.8 8.8 8.8 8.8
Max. Lastmoment Mz [Nm] 8.2 8.2 8.2 8.2 8.2
Nicken [µrad] ± 20 ± 30 ± 35 ± 40 ± 50
Gieren [µrad] ± 11 ± 15 ± 18 ± 20 ± 25
Auflösung [µm] 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
Gewicht [kg] 6.1 6.9 7.9 8.5 10.5
Länge [mm] 275 315 385 460 585
Breite [mm] 213 213 213 213 213
Höhe [mm] 40 40 40 40 40

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden. Sprechen Sie uns an.

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Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept

Nahezu alle hier gezeigten atmosphärischen Standardachsen sind uneloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar und min. Reinraum Klasse ISO 6 - oder noch besser - verfügbar. Weitere Stages für anpruchsvollere Umgebungen bis Reinraumklasse ISO 2, Vakuum bis 10E-11 mbar oder harte Strahlung finden Sie hier:

Übersicht Reinraum & Vakuum Linear Stages    Technischen Berater kontaktieren

Ja, Lineartische können auch als Hubtische (Z-Richtung) sowie gestapelt (XY-Bewegungen verwendet werden).

Wichtig dafür ist, dass die maximale Kraft in Antriebsrichtung nicht überschritten wird. Die Kraft für die vertikale Positionierung wird in der Spezifikation bei Linear Stages unter Fx angegeben.

 

Die Steinmeyer Mechatronik GmbH verwendet hauptsächlich Aluminium für die Struktur von Linear Stages, da es lokale Erwärmungen effizient abführt und schnell ein thermisch eingeschwungener Zustand entsteht. Das ist Voraussetzung für stabile, genaue Systeme. Die geringere Steifigkeit von Aluminium gegenüber Stahl wird durch geringfügig größere Höhe der Positioniertische oder die Verwendung von Hohlprofilen kompensiert. Beachte: Ein Balken aus Aluminium und einer aus Stahl hängen unter ihrer Gewichtskraft gleich stark durch! 
In speziellen Fällen kommen auch Titan für magnetfreie Systeme zum Einsatz.

Welche Oberflächen sind verfügbar?

Optional sind verschiedene Oberflächen möglich. Je nach Einsatz sind eloxal gereinigt, alternative Farben, Aluminium gereinigt blank, Bilatal oder Nickel für optimale Prozesstauglichkeit (z.B. besonders hohe Reinheitsgrade, Beständigkeit gegen Reinigung mit Chemikalien im Bereich Life Science) erhältlich. Sonder-Oberflächen sind oft für den UV, DUV oder EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage) notwendig.

Je nach Anforderung können verschiedene Antriebssysteme verwendet werden. Erkennbar ist diese als Kürzel in der Namensbezeichnung darunter:

  • Geschliffene Kugelgewindetriebe oder Gleitgewindetriebe mit SM-Motor (Schrittmotor), DC-Motor (Gleichstrommotor) oder AC-Servo (Wechselstrom-Servomotor).
  • Elektrodynamische Linearmotoren (eisenlos oder eisenbehaftet).
  • Piezomotoren wie Piezo-Legs® oder Nanomotion®.

Als Feedback-System werden in den meisten Fällen inkrementelle Maßstäbe aus Stahl oder Zerodur® bzw. Zeromet® eingesetzt. Während dies für eine Genauigkeit im einstelligen Mikrometerbereich ausreichend ist, ist es bei Genauigkeitsforderungen unter einem Mikrometer sinnvoll, interferometrisches Positionsfeedback zu verwenden. Bei Systemen mit „open loop“, also ohne Messsystem, lässt sich nur eine Präzision im zweistelligen Mikrometerbereich erzielen; aufgrund des einfacheren Controllers und des fehlenden Messsystems ist dies aber die kostengünstigere Lösung.


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