LA340-EDLM
Linearachsen

High Performance Stage (Luftlager), Hub 500 - 2000 mm, Repro ± 0.3 µm, Last 10 kg, Speed 3090 mm/s
LA340-EDLM

Hochdynamische Linearachse mit Luftlager

Das Antriebskonzept dieser Linearachse basiert auf einem dynamischen Linearmotor und einem linearen Messsystem, wodurch sie hervorragende Werte in Ebenheit und Geradheit für hochdynamische Anwendungen erreicht. Durch den Granitaufbau mit Luftlagerung wird ein partikelfreier Betrieb sowie eine besonders lange Lebensdauer gewährleistet.

  • Ideal für partikelfreie, hochdynamische Anwendungen mit hoher Präzision
  • Perfekte Ebenheit und hohe Wiederholgenauigkeit bis ± 0.3 µm
  • Hohe Dynamik bei Geschwindigkeiten bis 2060 mm/s
  • Sehr hohe Belastbarkeit bis 50 kg
  • Ausgelegt für den wartungsfreien 3-Schicht-Betrieb im Reinraum

Optionen:

  • Verfahrwege von 500 - 2000 mm
  • Ausführung für Reinraum, Labor oder Produktion
  • Wahlweise mit Grundplatte und Gestell
  • Verschiedene Messsystemauflösungen bis 0,001 µm
  • Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion

Anwendungsfelder

Aufbau von dynamischen und hochpräzisen Mehrachssystemen für Reinraumanwendungen, Halbleitertechnik: Waferinspektion, Vermessung großer Substrate, TFT / OLED Inspektion, Halbleiterdrucker zum Aufbringen von Schichtkomponenten, Biotechnologie: Labordiagnostik, bildbasiertes Inline-Monitoring, High-Speed-Mikroskopie, Laborautomation, Lineartisch für das Präzisionsscannen

 

LA340-EDLM   -500-EDLM-L -1000-EDLM-L -1500-EDLM-L -2000-EDLM-L
Verfahrweg [mm]  500 1000 1500 2000
Wiederholgenauigkeit unidirektional [µm] ± 0.3 ± 0.3 ± 0.3 ± 0.3
Wiederholgenauigkeit bidirektional [µm] ± 0.4 ± 0.4 ± 0.4 ± 0.4
Positioniergenauigkeit [µm] ± 1.9 ± 3 ± 4.1 ± 5.2
Ebenheitsabweichung [µm] ± 0.8 ± 1.5 ± 2.3 ± 3
Geradheitsabweichung [µm] ± 0.8 ± 1.5 ± 2.3 ± 3
Positioniergeschwindigkeit [mm/s] 790 1210 1630 2060
Max. Geschwindigkeit [mm/s] 1185 1815 2445 3090
Max. Beschleunigung [m/s2] 16 25 35 40
Max. Last Fx [N] 100 100 100 100
Max. Last Fy [N] 500 500 500 500
Max. Last Fz [N] 500 500 500 500
Max. Lastmoment Mx [Nm] 30 30 30 30
Max. Lastmoment My [Nm] 50 50 50 50
Max. Lastmoment Mz [Nm] 30 30 30 30
Nicken [µrad] ± 11 ± 16 ± 19 ± 20
Gieren [µrad] ± 11 ± 16 ± 19 ± 20
Länge [mm] 1060 1560 2060 2560
Breite [mm] 379 379 379 379
Höhe [mm] 310 310 310 310
Gewicht [kg] 370
Gewicht mit Gestell [kg] 640
Führung   Luftlager
Antrieb   Linearmotor
Motor   Dynamischer Linearmotor (eisenlos)
Feedback   Linearmesssystem
Messsystem Auflösungen   0.05 µm (optional bis zu 0.001 µm)
Material    Aluminium eloxiert, Granit
Optionale Zusatzausstattung   Gestell
Varianten Reinraum    bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung    UV (DUV, EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus    auf Anfrage
Varianten Vakuum    auf Anfrage
Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden. Sprechen Sie uns an.

Verwandte Produkte

1 LA250-DLM - Linearachsen

Hochlast Linearachse (Linear Motor), Hub bis 2000 mm, Repro ± 0.4 µm, Last bis 25 kg, Speed bis…

1 PLT320-DLM - Lineartische

Schwerlast Lineartisch (Linearmotor), Hub 300 - 1500 mm, Repro ± 0.4 µm, Last 25 kg, Speed 2445…

1 PLT240-DLM - Lineartische

High Performance Stage (Linearmotor), Hub 200 - 1000 mm, Repro 0.4 µm, Last 15 kg, Speed 1815 mm/s

1 PLT165-DLM - Lineartische

High Performance Stage (Linearmotor), Hub 200 - 750 mm, Repro ± 0.4 µm, Last 6 kg, Speed 1155 mm/s

1 PMT160-EDLM - Lineartische

Hochpräziser Lineartisch (Linear Motor), Hub 50 - 260 mm, Repro ± 0.3 µm, Last 1.4 kg, Speed 375…

1 KT230-EDLM - Kreuztische

Performance XY Stage (Linearmotor), Hub 110 x 110 mm, Repro ± 0.3 µm, Last 5 kg, Speed 300 mm/s

1 KT305-EDLM - Kreuztische

Performance XY Stage (Linearmotor), Hub 210 x 210 mm, Repro ± 0.3 µm, Last 8 kg, Speed 225 mm/s

1 KT405-EDLM - Kreuztische

Performance XY Stage (Linearmotor), Hub 320 x 320 mm, Repro ± 0.3 µm, Last 10 kg, Speed 150 mm/s

1 LA340-EDLM - Linearachsen

High Performance Stage (Luftlager), Hub 500 - 2000 mm, Repro ± 0.3 µm, Last 10 kg, Speed 3090 mm/s

1 LA110-EDLM - Linearachsen

High Performance Stage (Linear Motor), Hub 250 - 750 mm, Repro ± 0.4 µm, Last 4.5 kg, Speed 1500…

1 KDT600-EDLM - Kreuztische

XY Aperture Stage (Linearmotor), Hub 385 x 385 mm, Apertur 400, Repro 0.3 µm, Last 23 kg, Speed 500…

1 KT500-EDLM - Kreuztische

Performance XY Stage (Linearmotor), Hub 350 x 350 mm, Repro ± 0.3 µm, Last 10 kg, Speed 300 mm/s

1 KT600-EDLM - Kreuztische

Hochlast XY Stage (Linearmotor), Hub 450 x 450 mm, Repro ± 0.2 µm, Last 30 kg, Speed 500 mm/s

1 KLT810-DLM - Kreuztische

High Performance XY Stage (Linearmotor), Hub 400 x 400 mm, Repro ± 0.4 µm, Last 100 kg, Speed 1050…

1 2PLT240-DLM - Kreuztische

High Performance XY Stage (Linearmotor), Hub 300 - 750 mm, Repro ± 0.4 µm, Last 49 kg, Speed 1185…

1 2PLT165-DLM - Kreuztische

High Performance XY Stage (Linearmotor), Hub 500 x 400 mm, Repro ± 0.4 µm, Last 52 kg, Speed 870…

Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept

Ausführungen Reinraum, Strahlung und Vakuum

Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar und min. Reinraum Klasse ISO 6 - oder noch besser - verfügbar.

Übersicht Reinraum- & Vakuumsysteme    Technischen Berater kontaktieren

 

Sie suchen eine technische Lösung für Ihre Anwendung?

Jetzt den ersten 3D Entwurf in nur wenigen Tagen erhalten:

 

Katja Weißbach
Beratung
 

T +49 (0) 351 88585-64
E-Mail

 

Elger Matthes
Development, Consulting, Concepts, Innovation

T +49 (0) 351 88585-82
E-Mail

Francisco Samuel
Beratung &
Projektmanagement

T +49 (0) 351 88585-85
E-Mail

 

Unsere Referenzen