KT310-DC
Kreuztische

XY Positioniertisch (Spindelantrieb), Hub 200 x 200 mm, Repro ± 0.7 µm, Last 11 kg, Speed 60 mm/s
KT310-DC

Universell einsetzbarer Kreuztisch

Der Kreuztisch mit 200 mm Verfahrweg in X- und Y-Richtung ist universell einsetzbar, insbesondere für Aufgaben in der Prüf- und Messtechnik. Sein Konzept mit innen liegenden Motoren, Kreuzrollenführungen und hochpräzisen Kugelgewindetrieben ermöglicht hervorragende Präzision bei optimaler Nutzung des Bauraums.

Speziell für Inspektionsaufgaben

  • Ideal für hochpräzise Inspektionssysteme und Mikroskopie
  • Hochpräzise Wiederholgenauigkeit bis zu 0.7 µm
  • Leicht kombinierbar für Mehrachsanwendungen

Optionen:

  • Erhältlich mit DC-Motor oder Schrittmotor
  • Verschiedene, hochauflösende Messsysteme
  • Ausführung für Reinraum und Vakuum auf Anfrage

Anwendungsfelder

Hochauflösende Mikroskopie, Automatisch optische Inspektion (AOI), Inspektionssysteme für Reinraum, Wafer Inspektion

 

Modell KT310   -200-DC-R -200-DC-L
Verfahrweg [mm] 200 200
Wiederholgenauigkeit unidirektional [µm] ± 2.5 ± 0.7
Wiederholgenauigkeit bidirektional [µm] ± 4.5 ± 1.2
Positioniergenauigkeit [µm] ± 13.7 ± 3
Ebenheitsabweichung [µm] ± 4 ± 4
Geradheitsabweichung [µm] ± 3 ± 3
Positioniergeschwindigkeit [mm/s] 30 30
Max. Geschwindigkeit [mm/s] 60 60
Max. Beschleunigung [m/s2] 0.5 0.5
Max. Last Fx [N] 45 45
Max. Last Fy [N] 45 45
Max. Last Fz [N] 110 110
Max. Lastmoment Mx [Nm] 5.3 5.3
Max. Lastmoment My [Nm] 5.3 5.3
Max. Lastmoment Mz [Nm] 5.1 5.1
Nicken [µrad] ± 140 ± 140
Gieren [µrad] ± 70 ± 70
Gewicht [kg] 18 18
Länge [mm] 310 310
Breite [mm] 310 310
Höhe [mm] 80 80
Motor   DC-Motor DC-Motor
Feedback   Motor-Encoder Linearmesssystem
Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden. Sprechen Sie uns an.

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