KT310-DC
Kreuztische
XY Positioniertisch (Spindelantrieb), Hub 200 x 200 mm, Repro ± 0.7 µm, Last 11 kg, Speed 60 mm/s
Universell einsetzbarer Kreuztisch
Der Kreuztisch mit 200 mm Verfahrweg in X- und Y-Richtung ist universell einsetzbar, insbesondere für Aufgaben in der Prüf- und Messtechnik. Sein Konzept mit innen liegenden Motoren, Kreuzrollenführungen und hochpräzisen Kugelgewindetrieben ermöglicht hervorragende Präzision bei optimaler Nutzung des Bauraums.
Speziell für Inspektionsaufgaben
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Optionen:
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Anwendungsfelder
Hochauflösende Mikroskopie, Automatisch optische Inspektion (AOI), Inspektionssysteme für Reinraum, Wafer Inspektion
Modell KT310 | -200-DC-R | -200-DC-L | |
Verfahrweg | [mm] | 200 | 200 |
Wiederholgenauigkeit unidirektional | [µm] | ± 2.5 | ± 0.7 |
Wiederholgenauigkeit bidirektional | [µm] | ± 4.5 | ± 1.2 |
Positioniergenauigkeit | [µm] | ± 13.7 | ± 3 |
Ebenheitsabweichung | [µm] | ± 4 | ± 4 |
Geradheitsabweichung | [µm] | ± 3 | ± 3 |
Positioniergeschwindigkeit | [mm/s] | 30 | 30 |
Max. Geschwindigkeit | [mm/s] | 60 | 60 |
Max. Beschleunigung | [m/s2] | 0.5 | 0.5 |
Max. Last Fx | [N] | 45 | 45 |
Max. Last Fy | [N] | 45 | 45 |
Max. Last Fz | [N] | 110 | 110 |
Max. Lastmoment Mx | [Nm] | 5.3 | 5.3 |
Max. Lastmoment My | [Nm] | 5.3 | 5.3 |
Max. Lastmoment Mz | [Nm] | 5.1 | 5.1 |
Nicken | [µrad] | ± 140 | ± 140 |
Gieren | [µrad] | ± 70 | ± 70 |
Gewicht | [kg] | 18 | 18 |
Länge | [mm] | 310 | 310 |
Breite | [mm] | 310 | 310 |
Höhe | [mm] | 80 | 80 |
Motor | DC-Motor | DC-Motor | |
Feedback | Motor-Encoder | Linearmesssystem |
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