KDT180-SM
Kreuztische

XY Scanning Stage (Spindelantrieb), Hub 50 x 50 mm, Apertur 90 mm, Repro ± 2.3 µm, Last 5 kg, Speed 3 mm/s
KDT180-SM

Symmetrischer XY-Durchlicht-Tisch in Plattenarchitektur

Der KDT180 ist ein universell einsetzbarer Kreuztisch, der mit seiner extrem flachen Bauform und der großen Apertur von 90 x 90 mm überzeugt. Das Durchlicht ermöglicht Differenzmessung unter Ausschluss der Restfehler des Tisches oder auch Durchlichtmessungen. Damit ist dieser Tisch insbesondere für die Messtechnik und Optikanwendungen geeignet.
 

Kompakt und flach mit großem Durchlicht

  • Ideal für Mikroskopie, Inspektionssysteme und Messanlagen
  • Präzise Wiederholgenauigkeit bis zu 2.3 µm
  • Optional mit DC-Motor oder Schrittmotor

Anwendungsfelder

Anwendungen in der Mikroskopie, Messtechnik, Optik, 3D-Imaging, Autofokus-Systeme, Elektronikmontage, Optikpositionierung, Probenpositionierung, Halbleiterinspektion, Messanlagen, Messgeräte

 

Modell KDT180-SM   -50-SM
Verfahrweg [mm] 50
Wiederholgenauigkeit unidirektional [μm] ± 2.3
Wiederholgenauigkeit bidirektional [μm] ± 3.3
Positioniergenauigkeit [μm] ± 14.3
Ebenheitsabweichung [μm] ± 4.8
Geradheitsabweichung [μm] ± 3.6
Positioniergeschwindigkeit [mm/s] 1.4
Spitzengeschwindigkeit [mm/s] 3
Max. Beschleunigung [m/s2] 0.4
Max. Last Fx [N] 5.3
Max. Last Fy [N] 5.3
Max. Last Fz [N] 55
Max. Lastmoment Mx [Nm] 0.9
Max. Lastmoment My [Nm] 0.9
Max. Lastmoment Mz [Nm] 0.7
Nicken [µrad] ± 120
Gieren [µrad] ± 75
Gewicht [kg] 2.5
Länge [mm] 180
Breite [mm] 180
Höhe [mm] 38
Durchlicht [mm] 90 x 90
Motor   Stepper Motor
Feedback   Open Loop
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