MT130-SM
Miniatur-Lineartische

Lineartisch 130 x 130 x 43 mm, Hub bis 80 mm, Repro 2.3 µm, Last 9 kg, Speed 40 mm/s
MT130-SM

Kompakter Lineartisch mit innen liegendem Motor

Der Miniatur-Lineartisch erreicht mit spielfreien Kreuzrollenführungen sehr gute Ablaufwerte. Der Antrieb ist vollständig im hochkompakten Positioniersystem untergebracht.

  • Hübe bis 80 mm in kleinen Bauräumen (130 x 130 x 43 mm)
  • Wiederholgenauigkeit bis 2.3 µm
  • Leicht stapelbar zu kompakten Mehrachssystemen

Optionen:

  • Erhältlich mit DC-Motor oder Schrittmotor
  • Kompaktes 3-Achs-Positioniersystem: MP130-3
  • Kombinierbar mit dem Drehtisch DT130
  • Edelstahlausführung für erhöhte Steifigkeit
  • Ausführung für Reinraum, Vakuum und EUV 

Anwendungsfelder

Positionierung in kleinen Bauräumen z.B. Kamera, Mikroskop (AFM, WLI), Aufbau von platzsparenden XYZ Mehrachssystemen, Manipulator für Industrie und Forschung, Kompakte Reinraum-Positioniersysteme, Wafer Inspektion, Wafer Prober Justage

 

Modell MT130   -50-SM -80-SM
Verfahrweg [mm] 50 80
Wiederholgenauigkeit unidirektional [µm] ± 2.3 ± 2.3
Wiederholgenauigkeit bidirektional [µm] ± 4.3 ± 4.3
Positioniergenauigkeit [µm] ± 8.1 ± 9.7
Ebenheitsabweichung [µm] ± 2.5 ± 4
Geradheitsabweichung [µm] ± 1.8 ± 2.8
Positioniergeschwindigkeit [mm/s] 20 20
Max. Geschwindigkeit [mm/s] 40 40
Max. Beschleunigung [m/s2] 0.4 0.4
Max. Last Fx [N] 45 45
Max. Last Fy [N] 95 95
Max. Last Fz [N] 95 95
Max. Lastmoment Mx [Nm] 4.6 4.6
Max. Lastmoment My [Nm] 1.8 1.8
Max. Lastmoment Mz [Nm] 1.6 1.6
Nicken [µrad] ± 70 ± 90
Gieren [µrad] ± 40 ± 55
Gewicht [kg] 1.8 2.3
Länge [mm] 130 130
Breite [mm] 130 130
Höhe [mm] 43 43
Motor   Schrittmotor Schrittmotor
Feedback   Open Loop Open Loop
Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden. Sprechen Sie uns an.

Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept

Ausführungen Reinraum, Strahlung und Vakuum

Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar und min. Reinraum Klasse ISO 6 - oder noch besser - verfügbar.

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