MT105-PM
Miniatur-Lineartische

Mikrotisch mit Kreuzrollenführungen und Piezo LEGS® Motor für anspruchsvolle Umgebungen.
MT105-PM

 

Mikrotisch mit hoher Dynamik und Geschwindigkeit

Der MT105 ist ein universell einsetzbarer Mikrotisch, der vor allem durch seine hohe Dynamik und Geschwindigkeit überzeugt. Gemes­sen an seiner Größe verfügt er über einen großen Verfahrweg und ermöglicht dank seines Piezomotors kleinste Schrittweiten.

Flexibel und universell

Ausgestattet ist der MT105 mit Kreuzrollenführungen. Optional besteht die Möglichkeit, den Mikrotisch mit zwei Motoren auszu­statten, um höhere Lasten zu positionieren. Gleichzeitig lässt sich der Tisch mühelos zu einer XYZ-­Anwendung kombinieren.

Optimal für anspruchsvolle Umgebungsbedingungen

Der Mikrotisch MT105 ist dafür ausgelegt unter extremen Bedin­gungen, wie im Hochvakuum, im Ultra-Hochvakuum und für nicht­-magnetische Anwendungen, hervorragende Ablauf­- und Positionier­genauigkeiten zu erreichen.

 

Modell MT105-30-2PM-L-50-PM-L-100-PM-L
Verfahrweg[mm] 3050100
Wiederholgenauigkeit unidirektional[μm]± 0.2± 0.2± 0.2
Wiederholgenauigkeit bidirektional[μm]± 0.3± 0.3± 0.3
Positioniergenauigkeit[μm]± 1.2± 1.4± 1.9
Ebenheitsabweichung[μm]± 1.5± 2.5± 5
Geradheitsabweichung[μm]± 1.1± 1.8± 3.5
Positioniergeschwindigkeit[mm/s]555
Max. Beschleunigung[m/s2]0.10.10.1
Max. Last Fx [N]101010
Max. Last Fy [N]555555
Max. Last Fz [N]555555
Max. Lastmoment Mx [Nm]222
Max. Lastmoment My [Nm]0.90.90.9
Max. Lastmoment Mz [Nm]0.70.70.7
Nicken[µrad]± 55± 70± 100
Gieren[µrad]± 35± 40± 60
Auflösung[µm]0.10.10.1

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden. Sprechen Sie uns an.

Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept

Ausführungen Reinraum, Strahlung und Vakuum

Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar und min. Reinraum Klasse ISO 6 - oder noch besser - verfügbar.

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