LA340-EDLM
Linearachsen

High Performance Stage (Luftlager), Hub 500 - 2000 mm, Repro ± 0.3 µm, Last 10 kg, Speed 3090 mm/s

Hochdynamische Linearachse mit Luftlager

Das Antriebskonzept dieser Linearachse basiert auf einem dynamischen Linearmotor und einem linearen Messsystem, wodurch sie hervorragende Werte in Ebenheit und Geradheit für hochdynamische Anwendungen erreicht. Durch den Granitaufbau mit Luftlagerung wird ein partikelfreier Betrieb sowie eine besonders lange Lebensdauer gewährleistet.

Ideal für partikelfreie, hochdynamische Anwendungen mit hoher Präzision

Perfekte Ebenheit und hohe Wiederholgenauigkeit bis ± 0.3 µm

Hohe Dynamik bei Geschwindigkeiten bis 2060 mm/s

Sehr hohe Belastbarkeit bis 50 kg

Ausgelegt für den wartungsfreien 3-Schicht-Betrieb im Reinraum

Optionen:

Verfahrwege von 500 - 2000 mm
Ausführung für Reinraum, Labor oder Produktion
Wahlweise mit Grundplatte und Gestell
Verschiedene Messsystemauflösungen bis 0,001 µm
Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion

Anwendungsfelder

Aufbau von dynamischen und hochpräzisen Mehrachssystemen für Reinraumanwendungen, Halbleitertechnik: Waferinspektion, Vermessung großer Substrate, TFT / OLED Inspektion, Halbleiterdrucker zum Aufbringen von Schichtkomponenten, Biotechnologie: Labordiagnostik, bildbasiertes Inline-Monitoring, High-Speed-Mikroskopie, Laborautomation, Lineartisch für das Präzisionsscannen

Spezifikationen

LA340-EDLM		-500-EDLM-L	-1000-EDLM-L	-1500-EDLM-L	-2000-EDLM-L
Verfahrweg	[mm]	500	1000	1500	2000
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm]	± 0.3	± 0.3	± 0.3	± 0.3
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm]	± 0.4	± 0.4	± 0.4	± 0.4
Positioniergenauigkeit	[µm]	± 1.9	± 3	± 4.1	± 5.2
Ebenheitsabweichung	[µm]	± 0.8	± 1.5	± 2.3	± 3
Geradheitsabweichung	[µm]	± 0.8	± 1.5	± 2.3	± 3
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s]	790	1210	1630	2060
Max. Geschwindigkeit	[mm/s]	1185	1815	2445	3090
Max. Beschleunigung	[m/s2]	16	25	35	40
Max. Last Fx	[N]	100	100	100	100
Max. Last Fy	[N]	500	500	500	500
Max. Last Fz	[N]	500	500	500	500
Max. Lastmoment Mx	[Nm]	30	30	30	30
Max. Lastmoment My	[Nm]	50	50	50	50
Max. Lastmoment Mz	[Nm]	30	30	30	30
Nicken	[µrad]	± 11	± 16	± 19	± 20
Gieren	[µrad]	± 11	± 16	± 19	± 20
Länge	[mm]	1060	1560	2060	2560
Breite	[mm]	379	379	379	379
Höhe	[mm]	310	310	310	310
Gewicht	[kg]	370
Gewicht mit Gestell	[kg]	640
Führung		Luftlager
Antrieb		Linearmotor
Motor		Dynamischer Linearmotor (eisenlos)
Feedback		Linearmesssystem
Messsystem Auflösungen		0.05 µm (optional bis zu 0.001 µm)
Material		Aluminium eloxiert, Granit
Optionale Zusatzausstattung		Gestell
Varianten Reinraum		bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung		UV (DUV, EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus		auf Anfrage
Varianten Vakuum		auf Anfrage

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden. Sprechen Sie uns an.