KT600-EDLM
Kreuztische

Hochlast XY Stage (Linearmotor), Hub 450 x 450 mm, Repro ± 0.2 µm, Last 30 kg, Speed 500 mm/s

Präzisionsgigant mit höchster Wiederholbarkeit

Dieser große Präzisionskreuztisch ist für höchste Wiederholbarkeit konstruiert. Es lassen sich kostensparend Genauigkeiten mit Kompensation erreichten, die sonst nur Luftlagersystemen vorbehalten sind. Es werden polierte Kreuzrollenführungen für Wiederholbarkeit von Geradheit und Ebenheit von +-0.15 µm verwendet. Ein eisenloser elektrodynamischer Linearmotor sorgt für hohe Dynamik.

Durch die auf die unterschiedlichen bewegten Massen abgestimmten Motoren in X und Y ist ein homogenes dynamisches Verhalten gegeben. Der Tisch verhält sich in beiden Achsen gleich.

Schnellste Scananwendungen mit hoher Beschleunigung

Extrem schnelle Scanergebnisse bei einer Positioniergeschwindigkeit von 330 mm/s

Scannen hoher Lasten mit einer extremen Auflösung von 0.05 µm

Erreicht kostenoptimiert die vergleichbare Performance von Luftlagersystem

Wartungsfreier Betrieb bis zu 500.000 Vollhübe, danach ist nur ein unkompliziertes Nachschmieren nötig

Lebenserwartung bis zu zwei Millionen Vollhübe

Integrierte Kabelführung, steckbares Terminal

Anwendungsfelder

Schnelle Scananwendungen und dynamische Bahnfahrten z.B. Halbleiterinspektion, Messanlagen, Automatische optische Inspektion (AOI), Messgeräte, Differenzmessung, Ersatz für Luflagertische

Spezifikationen

Modell KT600		-450-EDLM-L
Verfahrweg	[mm]	450
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[μm]	± 0.2
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[μm]	± 0.3
Positioniergenauigkeit	[μm]	± 4.8
Ebenheitsabweichung	[μm]	± 13
Geradheitsabweichung	[μm]	± 2.5
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s]	330
Spitzengeschwindigkeit	[mm/s]	500
Max. Beschleunigung	[m/s²]	3
Max. Last Fx	[N]	25
Max. Last Fy	[N]	25
Max. Last Fz	[N]	300
Max. Lastmoment Mx	[Nm]	32
Max. Lastmoment My	[Nm]	32
Max. Lastmoment Mz	[Nm]	30
Nicken	[µrad]	± 110
Gieren	[µrad]	± 110
Länge	[mm]	600
Breite	[mm]	600
Höhe	[mm]	110
Motor		Dynamischer Linearmotor (eisenlos), Ironless Dynamic Linear Motor
Feedback		Linearmesssystem, Linear Scale

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden. Sprechen Sie uns an.

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