KT500-EDLM
Kreuztische

Performance XY Stage (Linearmotor), Hub 350 x 350 mm, Repro ± 0.3 µm, Last 10 kg, Speed 300 mm/s
KT500-EDLM

Flach, präzise und schnell

Der Kreuztisch KT500 besticht nicht nur durch ein sehr flaches und kompaktes Design. Dank 350 mm Verfahrweg sind auch große Substrate und Teile vollflächig scanbar. Er ist so konstruiert, dass alle Ablaufparameter exakt wiederholbar sind und eine vergleichbare Performance von Luftlagersystemen erreicht wird. Dank eines über eine Steckverbindung trennbaren Kabelinterface ist eine einfache Montage und ein wartungsfreier Betrieb bis zu 500.000 Vollhübe möglich.

Hochdynamisches XY-System mit hoher Lebensdauer

  • Hochpräzise Wiederholgenauigkeit bis zu 0.3 µm
  • Zeitersparnis beim Start-Stopp-Betrieb durch Spitzengeschwindigkeiten bis 400 mm/s und einer Beschleunigung von 1G
  • Wartungsfreier Betrieb bis zu 500.000 Vollhübe, danach ist nur ein unkompliziertes Nachschmieren nötig
  • Lebenserwartung bis zu zwei Millionen Vollhübe
  • Integrierte Kabelführung, steckbares Terminal
  • Erhältlich mit bis zu zwei elektrodynamischen Linearmotoren je Richtung: 2+2 Motoren für ein besonders schnelles Scan-Ergebnis, 2+1 Motoren für eine gleiche Dynamik

Anwendungsfelder

Schnelle Scananwendungen und dynamische Bahnfahrten z.B. Halbleiterinspektion, Messanlagen, Automatische optische Inspektion (AOI), Messgeräte, Differenzmessung, Ersatz für Luflagertische

 

KT500   -350-EDLM-L
Verfahrweg [mm] 350
Wiederholgenauigkeit unidirektional [μm] ± 0.3
Wiederholgenauigkeit bidirektional [μm] ± 0.4
Positioniergenauigkeit [μm] ± 10
Ebenheitsabweichung [μm] ± 10
Geradheitsabweichung [μm] ± 5
Positioniergeschwindigkeit [mm/s] 200
Spitzengeschwindigkeit [mm/s] 300
Max. Beschleunigung [m/s2] 1000
Max. Last Fx [N] 25
Max. Last Fy [N] 25
Max. Last Fz [N] 100
Max. Lastmoment Mx [Nm] 11
Max. Lastmoment My [Nm] 11
Max. Lastmoment Mz [Nm] 11
Nicken [µrad] ± 190
Gieren [µrad] ± 95
Länge [mm] 500
Breite [mm] 500
Höhe [mm] 90
Motor   Dynamischer Linearmotor (eisenlos), Ironless Dynamic Linear Motor
Feedback   Linearmesssystem, Linear Scale
Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden. Sprechen Sie uns an.

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