KDT600-EDLM
Kreuztische

XY Aperture Stage (Linearmotor), Hub 385 x 385 mm, Apertur 400, Repro 0.3 µm, Last 23 kg, Speed 500 mm/s

Scantisch mit großer Durchlichtöffnung

Dieser XY Präzisionskreuztisch ist für höchste Wiederholbarkeit konstruiert. Es lassen sich kostensparend Genauigkeiten mit Kompensation erreichten, die sonst nur Luftlagersystemen vorbehalten sind. Es werden polierte Kreuzrollenführungen für Wiederholbarkeit von Geradheit und Ebenheit von +-0.15 µm verwendet.

Mit dem großen Durchlicht können auch große Substrate von beiden Seiten oder mit Durchleuchtung gemessen werden. Auch bietet es die Möglichkeit einer Differenzmessung zum Ausnutzen der vollen Sensorgenauigkeit in Messanwendungen. Auch bei voll verfahrenem Tisch bleibt immer eine Öffnung von wenigstens 60mm x 60mm erhalten.

Schnellste Scananwendungen mit hoher Beschleunigung

Extrem schnelle Scanergebnisse bei einer Positioniergeschwindigkeit von 330 mm/s
Scannen hoher Lasten mit einer extremen Auflösung von 0.05 µm
Erreicht kostenoptimiert die vergleichbare Performance von Luftlagersystem
Wartungsfreier Betrieb bis zu 500.000 Vollhübe, danach ist nur ein unkompliziertes Nachschmieren nötig
Lebenserwartung bis zu zwei Millionen Vollhübe
Integrierte Kabelführung, steckbares Terminal

Anwendungsfelder

Schnelle Scananwendungen und dynamische Bahnfahrten z.B. Halbleiterinspektion, Messanlagen, Automatische optische Inspektion (AOI), Messgeräte, Differenzmessung, Ersatz für Luflagertische

Spezifikationen

KDT600-EDLM		-385-EDLM
Verfahrweg	[mm]	385
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[μm]	± 0.3
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[μm]	± 0.4
Positioniergenauigkeit	[μm]	± 16.6
Ebenheitsabweichung	[μm]	± 10
Geradheitsabweichung	[μm]	± 1.7
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s]	330
Spitzengeschwindigkeit	[mm/s]	500
Max. Beschleunigung	[m/s²]	3
Max. Last Fx	[N]	25
Max. Last Fy	[N]	25
Max. Last Fz	[N]	230
Max. Lastmoment Mx	[Nm]	11
Max. Lastmoment My	[Nm]	11
Max. Lastmoment Mz	[Nm]	10
Nicken	[µrad]	± 280
Gieren	[µrad]	± 45
Länge	[mm]	600
Breite	[mm]	600
Höhe	[mm]	120
Durchlicht	[mm]	400
Motor		Dynamischer Linearmotor (eisenlos), Ironless Dynamic Linear Motor
Feedback		Linearmesssystem, Linear Scale

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden. Sprechen Sie uns an.