KDT235-SM
Kreuztische
XY Mikroskopie Stage (Spindelantrieb), Hub 50 x 50 mm, Apertur 100, Repro ± 1.6 µm, Last 8 kg, Speed 20 mm/s
Scantisch mit großer Durchlichtöffnung
Platzsparendes Design und eine große Apertur kennzeichnen diesen robusten Kreuztisch. Hochpräzise Kugelgewindespindeln und eine justierbare Orthogonalität gewährleisten hochgenaue Positionier- und Ablaufgenauigkeiten.
Speziell für Mikroskopieaufgaben
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Optionen:
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Anwendungsfelder
Hochauflösende Anwendungen in der Mikroskopie, optische Inspektionssysteme, 3D-Imaging, Screening, Auflichtmessungen, Durchlichtmessung, Interferometrie, Messtechnik, Autofokus-Systeme, Biotechnologie, Halbleitertests
| Modell KDT235 | -50-SM | |
| Verfahrweg | [mm] | 50 |
| Wiederholgenauigkeit unidirektional | [μm] | ± 1.6 |
| Wiederholgenauigkeit bidirektional | [μm] | ± 2.1 |
| Positioniergenauigkeit | [μm] | ± 7.1 |
| Ebenheitsabweichung | [μm] | ± 3.5 |
| Geradheitsabweichung | [μm] | ± 2.5 |
| Positioniergeschwindigkeit | [mm/s] | 10 |
| Max. speed | [mm/s] | 20 |
| Max. Beschleunigung | [m/s2] | 0.2 |
| Max. Last Fx | [N] | 45 |
| Max. Last Fy | [N] | 45 |
| Max. Last Fz | [N] | 85 |
| Max. Lastmoment Mx | [Nm] | 5.2 |
| Max. Lastmoment My | [Nm] | 5.2 |
| Max. Lastmoment Mz | [Nm] | 7.2 |
| Nicken | [µrad] | ± 110 |
| Gieren | [µrad] | ± 70 |
| Gewicht | [kg] | 10 |
| Länge | [mm] | 235 |
| Breite | [mm] | 235 |
| Höhe | [mm] | 80 |
| Durchlicht | [mm] | 100 |
| Motor | Schrittmotor, Stepper Motor | |
| Feedback | Open Loop |
Ausführungen Reinraum, Strahlung und Vakuum
Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar und min. Reinraum Klasse ISO 6 - oder noch besser - verfügbar.
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