KDT180-SM
Kreuztische
XY Scanning Stage (Spindelantrieb), Hub 50 x 50 mm, Apertur 90 mm, Repro ± 2.3 µm, Last 5 kg, Speed 3 mm/s
Symmetrischer XY-Durchlicht-Tisch in Plattenarchitektur
Der KDT180 ist ein universell einsetzbarer Kreuztisch, der mit seiner extrem flachen Bauform und der großen Apertur von 90 x 90 mm überzeugt. Das Durchlicht ermöglicht Differenzmessung unter Ausschluss der Restfehler des Tisches oder auch Durchlichtmessungen. Damit ist dieser Tisch insbesondere für die Messtechnik und Optikanwendungen geeignet.
Kompakt und flach mit großem Durchlicht
|
|
|
Anwendungsfelder
Anwendungen in der Mikroskopie, Messtechnik, Optik, 3D-Imaging, Autofokus-Systeme, Elektronikmontage, Optikpositionierung, Probenpositionierung, Halbleiterinspektion, Messanlagen, Messgeräte
| Modell KDT180-SM | -50-SM | |
| Verfahrweg | [mm] | 50 |
| Wiederholgenauigkeit unidirektional | [μm] | ± 2.3 |
| Wiederholgenauigkeit bidirektional | [μm] | ± 3.3 |
| Positioniergenauigkeit | [μm] | ± 14.3 |
| Ebenheitsabweichung | [μm] | ± 4.8 |
| Geradheitsabweichung | [μm] | ± 3.6 |
| Positioniergeschwindigkeit | [mm/s] | 1.4 |
| Spitzengeschwindigkeit | [mm/s] | 3 |
| Max. Beschleunigung | [m/s2] | 0.4 |
| Max. Last Fx | [N] | 5.3 |
| Max. Last Fy | [N] | 5.3 |
| Max. Last Fz | [N] | 55 |
| Max. Lastmoment Mx | [Nm] | 0.9 |
| Max. Lastmoment My | [Nm] | 0.9 |
| Max. Lastmoment Mz | [Nm] | 0.7 |
| Nicken | [µrad] | ± 120 |
| Gieren | [µrad] | ± 75 |
| Gewicht | [kg] | 2.5 |
| Länge | [mm] | 180 |
| Breite | [mm] | 180 |
| Höhe | [mm] | 38 |
| Durchlicht | [mm] | 90 x 90 |
| Motor | Stepper Motor | |
| Feedback | Open Loop |
Ausführungen Reinraum, Strahlung und Vakuum
Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar und min. Reinraum Klasse ISO 6 - oder noch besser - verfügbar.
Übersicht Reinraum- & Vakuumsysteme Technischen Berater kontaktieren
Sie suchen eine technische Lösung für Ihre Anwendung?
Jetzt den ersten 3D Entwurf in nur wenigen Tagen erhalten:
Elger Matthes
Development, Consulting, Concepts, Innovation
| T +49 (0) 351 88585-82 |
Unsere Referenzen