KDT180-SM
Kreuztische

XY Scanning Stage (Spindelantrieb), Hub 50 x 50 mm, Apertur 90 mm, Repro ± 2.3 µm, Last 5 kg, Speed 3 mm/s
KDT180-SM

Symmetrischer XY-Durchlicht-Tisch in Plattenarchitektur

Der KDT180 ist ein universell einsetzbarer Kreuztisch, der mit seiner extrem flachen Bauform und der großen Apertur von 90 x 90 mm überzeugt. Das Durchlicht ermöglicht Differenzmessung unter Ausschluss der Restfehler des Tisches oder auch Durchlichtmessungen. Damit ist dieser Tisch insbesondere für die Messtechnik und Optikanwendungen geeignet.
 

Kompakt und flach mit großem Durchlicht

  • Ideal für Mikroskopie, Inspektionssysteme und Messanlagen
  • Präzise Wiederholgenauigkeit bis zu 2.3 µm
  • Optional mit DC-Motor oder Schrittmotor

Anwendungsfelder

Anwendungen in der Mikroskopie, Messtechnik, Optik, 3D-Imaging, Autofokus-Systeme, Elektronikmontage, Optikpositionierung, Probenpositionierung, Halbleiterinspektion, Messanlagen, Messgeräte

 

Modell KDT180-SM   -50-SM
Verfahrweg [mm] 50
Wiederholgenauigkeit unidirektional [μm] ± 2.3
Wiederholgenauigkeit bidirektional [μm] ± 3.3
Positioniergenauigkeit [μm] ± 14.3
Ebenheitsabweichung [μm] ± 4.8
Geradheitsabweichung [μm] ± 3.6
Positioniergeschwindigkeit [mm/s] 1.4
Spitzengeschwindigkeit [mm/s] 3
Max. Beschleunigung [m/s2] 0.4
Max. Last Fx [N] 5.3
Max. Last Fy [N] 5.3
Max. Last Fz [N] 55
Max. Lastmoment Mx [Nm] 0.9
Max. Lastmoment My [Nm] 0.9
Max. Lastmoment Mz [Nm] 0.7
Nicken [µrad] ± 120
Gieren [µrad] ± 75
Gewicht [kg] 2.5
Länge [mm] 180
Breite [mm] 180
Höhe [mm] 38
Durchlicht [mm] 90 x 90
Motor   Stepper Motor
Feedback   Open Loop
Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden. Sprechen Sie uns an.

Verwandte Produkte

Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept

Ausführungen Reinraum, Strahlung und Vakuum

Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10E-6 mbar und min. Reinraum Klasse ISO 6 - oder noch besser - verfügbar.

Übersicht Reinraum- & Vakuumsysteme    Technischen Berater kontaktieren

 


Sie suchen eine technische Lösung für Ihre Anwendung?

Jetzt den ersten 3D Entwurf in nur wenigen Tagen erhalten:

 

Katja Weißbach
Beratung
 

T +49 (0) 351 88585-64
E-Mail

 

Elger Matthes
Development, Consulting, Concepts, Innovation

T +49 (0) 351 88585-82
E-Mail

Francisco Samuel
Beratung &
Projektmanagement

T +49 (0) 351 88585-85
E-Mail

 

Unsere Referenzen