KDT180-PM
Kreuztische
Hochpräziser XY Piezo-Kreuztisch, Hub 100 x 100 mm, Apertur 115 mm, Repro ± 0.3 µm, Last 5 kg, Speed 7 mm/s
Hochpräziser Kreuztisch mit Durchlichtöffnung
Mit Piezomotoren ausgestattet, überzeugt der KDT180 mit kleinsten Schrittweiten und hoher Auflösung. Er erreicht hohe Geschwindigkeiten bei gleichzeitig sehr hoher Positionierauflösung. Für anspruchsvolle Umgebungsbedingungen ist dieses XY-System auch als HV-/ UHV- oder nichtmagnetische Variante erhältlich.
Geeignet für anspruchsvolle Umgebungsbedingungen
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Anwendungsfelder
Hochauflösende Anwendungen in der Mikroskopie, Superresolution-Mikroskopie, Scanning-Mikroskopie, 3D-Imaging, Screening, Vakuumkammern, Interferometrie, Messtechnik, Autofokus-Systeme, Biotechnologie, Halbleitertests, Forschung, Experimentalphysik, Elektronikmontage, Optikpositionierung, Probenpositionierung
KDT180-PM | -100-PM | |
Verfahrweg | [mm] | 100 |
Wiederholgenauigkeit unidirektional | [μm] | ± 0.3 |
Wiederholgenauigkeit bidirektional | [μm] | ± 0.4 |
Positioniergenauigkeit | [μm] | ± 8 |
Ebenheitsabweichung | [μm] | ± 10 |
Geradheitsabweichung | [μm] | ± 7.5 |
Positioniergeschwindigkeit | [mm/s] | 5 |
Spitzengeschwindigkeit | [mm/s] | 7 |
Max. Beschleunigung | [m/s2] | 0.1 |
Max. Last Fx | [N] | 10 |
Max. Last Fy | [N] | 10 |
Max. Last Fz | [N] | 55 |
Max. Lastmoment Mx | [Nm] | 0.9 |
Max. Lastmoment My | [Nm] | 0.9 |
Max. Lastmoment Mz | [Nm] | 0.7 |
Nicken | [µrad] | ± 250 |
Gieren | [µrad] | ± 150 |
Gewicht | [kg] | 3 |
Länge | [mm] | 230 |
Breite | [mm] | 230 |
Höhe | [mm] | 50 |
Durchlicht | [mm] | 115 x 115 |
Motor | Piezo Motor | |
Feedback | Linearmesssystem, Linear Scale |
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